Aliuminio oksido tvirtinimo bazės plokštės

„Semicorex“ aliuminio oksido montavimo pagrindinės plokštės yra didelio grynumo keramikos produktai, suprojektuoti kaip patvarios ir stabilios pagrindai montavimo darbų griebtuvams puslaidininkių gamybos įrangoje. Šios plokštelės teikia kritinę mechaninę atramą ir vaflių apdorojimo operacijas, tokias kaip litografija, ėsdinimas, nusėdimas ir patikrinimas. Būtina tiksliai suderinti darbą su kitais sistemos komponentais, kad būtų užtikrinta, jog vaflių apdorojimas gali vykti su reikiamu ištikimybe. Plokštės gaminamos naudojant keramiką, skirtą perdirbimo metodams, kad būtų pasiektas reikiamas lygumas, aukštos temperatūros patvarumas ir ilgalaikis patikimumas, kad būtų patenkinti atšiaurios šiuolaikinio puslaidininkio gamybos reikalavimai tiek proceso, tiek švarios salės aplinkoje.

„Semicorex“ aliuminio oksido montavimo pagrindo plokštės yra pagamintos iš didelio grynumoaliuminio oksidasTurint grynumo lygį ≧ 99,5% (tipiška). Didelio grynumo aliuminio oksidas pasižymi geromis mechaninėmis ir šiluminėmis savybėmis, taip pat kietumu. Didelio grynumo aliuminio oksidas pasižymi puikiomis būdingomis elektros izoliacinėmis savybėmis, kurios taip pat leidžia šias plokšteles naudoti vakuume ir aukštos įtampos pritaikymuose, kuriuose gali kilti elektros trukdžių. Alium oksidas bus atsparūs šiluminiam ciklui, kuris leidžia plokštelėms išlaikyti geresnį matmenų tikslumą nei dauguma medžiagų ir yra naudinga palaikant išlyginimą ar struktūrinį stabilumą dėl sumažėjusio šiluminio išsiplėtimo. Šis veiksnys yra svarbus užtikrinant Chucko pakartojamumą ir numanomus proceso nuokrypius, tuo pačiu veikiant per didelius gamybos ciklus.

Puslaidininkių apdorojimo sistemose montavimo pagrindo plokštė nėra tik mechaninio pritvirtinimo įtaisas. Tai terpė šiluminio sąlyčio tarp chucho ir likusios įrangos ir yra kritiška šiluminiam išsklaidymui, struktūriniam vientisumui ir vibracijos išskyrimui. Apdorojimo veiksmai, tokie kaip (bet neapsiribojant) CVD, PVD ar jonų implantacija, kai aukšta temperatūra ir vakuuminis slėgis yra įprastas, reikalauja, kad montavimo bazė būtų termiškai atspari, chemiškai inertiška ir atspari, mechaniškai patikimas ir atsparus šiluminiam smūgiui. Cheminis inertiškumas yra gyvybiškai svarbus, nes laikiklis turi būti suderinamas su reaktyviosiomis dujomis, taip pat valyti chemikus, prailginti naudingą tvirtinimo tarnavimo laiką ir užkirsti kelią užteršimui.

Kiekviena „Semicorex“ pagaminta aliuminio oksido montavimo bazinė plokštė yra apdirbta iki nuokrypių, kurių reikalauja puslaidininkiniai originalios įrangos gamintojai, ir įrangos integratoriai. Plokštelės yra pritvirtintos iki tvirtų storio, aukščio kitimo ir lygumo nuokrypių, kad būtų užtikrintas maksimalus stabilumas ir pakartojamumas. Šias montavimo plokšteles galima gaminti su montavimo skylėmis, laiko tarpsniais ar priešais klientų specifikacijas, kad būtų galima geriau pritaikyti darbinius griebtuvus, mechanines stadijas ar kitą įrangą. Aliuminio oksido keramika apdorojama naudojant modernius sukepinimo ir tikslaus šlifavimo metodus, kad būtų galima optimizuoti vienodą mikrostruktūrą ir paviršiaus kokybę, kad būtų užtikrintas nuoseklus šiluminis kontaktas ir suderinimas laikui bėgant.

„Semicorex“ aliuminio oksido montavimo bazės plokštės yra naudojamos įvairiose programose, įskaitant vaflių tvarkytojus, robotų perdavimo sistemas, vakuuminių chucho rinkinius ir metrologijos stadijas. Šis patikimumas ir ilgaamžiškumas įvairiose reikalaujančiose proceso situacijose daro juos pasirinktu produktu su įrankių gamintojais, ieškančiais tvirtų, ilgalaikių, žemos priežiūros keraminių komponentų. Mūsų inžinerijos grupės partneriai su klientais pateikia unikalius sprendimus, kurie yra nurodyti kiekvienai plokštelei, kad būtų padidintas gamybos efektyvumas puslaidininkyje.

Aliuminio oksido montavimo pagrindinės plokštelės yra ne tik mechaninė atrama; Tai yra pagrindinis tikslumo inžinerijos komponentas puslaidininkių pramonėje. Turėdami puikų mechaninį stabilumą, grynumą ir konfigūravimą, jie užtikrina tikslų derinimą, ilgą tarnavimo laiką ir patikimą veikimą plačiame proceso įrankių diapazone. Aukštos kokybės montavimo bazinėms plokštelėms tenkinti didelius šių dienų puslaidininkių gamintojų lūkesčius „Trust Semicorex“.