Aliuminio keramikos vakuuminiai griebtuvai

Aliuminio keramikos vakuuminiai griebtuvaidažniausiai yra puslaidininkinės įrangos apdorojimo zonos šerdyje, atsakingoje už puslaidininkinių plokštelių palaikymą ir tvirtinimą. Jie yra prijungti prie vakuuminių siurblių ir gali sandariai adsorbuoti puslaidininkines plokšteles ant aliuminio oksido keramikos vakuuminių griebtuvų paviršiaus, naudojant vakuuminės adsorbcijos principą. Faktiškai veikiant, vakuuminiai siurbliai ištraukia orą iš tarp plokštelės ir griebtuvo, sukurdami vakuuminę aplinką, kuri tvirtai laiko plokštelę. Tai užtikrina stabilią plokštelių padėtį apdirbimo metu ir efektyviai sumažina apdirbimo klaidas, atsirandančias dėl plokštelių poslinkio.

Norint sukurti pakankamą adsorbcijos jėgą puslaidininkinei plokštelei pritvirtinti, aliuminio oksido keramikos vakuuminis griebtuvas turi tvirtai prilipti prie plokštelės paviršiaus. Kadangi dėl nepakankamos adsorbcijos jėgos vakuumas nebus palaikomas, todėl plokštelė atsiims arba pasislinks. Tai kelia griežtus reikalavimus aliuminio oksido keramikos vakuuminių griebtuvų paviršiaus lygumui, kad būtų išvengta tokių problemų šaltinyje. Jų paviršius turi būti tiksliai mechaniškai poliruotas, kad būtų pasiektas reikiamas lygumas, užtikrinantis laukiamą adsorbcijos efektą.

Eksploatacijos požiūriu Semicorex aliuminio oksido keramikos vakuuminiai griebtuvai yra svarbūs komponentai siekiant automatizuoti šiuolaikinę puslaidininkių gamybą. Jie gali palengvinti sklandžią automatizavimo eigą, leidžiančią tiksliai paimti, išdėstyti, išlyginti ir apdoroti plokšteles. Gerai suprojektuota aliuminio oksido keramikos vakuuminių griebtuvų struktūra ir išvaizda užtikrina greitą oro praėjimą, o tai užtikrina efektyvią vakuuminę adsorbciją ir atpalaidavimą bei apsaugo nuo deformacijos ar plokštelės paviršiaus pažeidimo dėl netinkamos adsorbcijos jėgos. Be to, Semicorex naudoja lengvą svorįaliuminio oksido keramikasumažinti bendrą aliuminio oksido keramikos vakuuminių griebtuvų svorį. Toks medžiagų pasirinkimas palengvina įrangos montavimą ir eksploatavimą, todėl žymiai padidina veiklos efektyvumą.

„Semicorex“ aliuminio oksido keramikos vakuuminiai griebtuvai, pasižymintys tiek daugybe puikių eksploatacinių savybių, plačiai naudojami puslaidininkių gamybos pramonėje, pavyzdžiui, plokštelių ploninimo, pjaustymo, šlifavimo, poliravimo, fotolitografijos, ėsdinimo ir kituose procesuose, siekiant pagerinti apdorojimo tikslumą ir derlių.