Aliuminio keramikos manipuliatorius

Aliuminio keramikos manipuliatoriusGerai žinoma, kad kuo grynesnė sudėtisSilicio plokštelėsyra labai jautrūs kitų dalelių užteršimui, todėl paprastai yra tvarkomi vakuuminėje aplinkoje, siekiant užtikrinti švarą. Aliuminio oksido keramikos manipuliatoriai naudoja neigiamo slėgio siurbimą, kad pašalintų plokšteles ir transportuotų puslaidininkines plokšteles rankos teleskopiniais, sukimosi ir kėlimo judesiais. Aliuminio oksido keramikos manipuliatoriaus viduje yra oro angos ir ventiliacijos grioveliai, kurie siurbiant orą gali susidaryti vakuumą, kad puslaidininkines plokšteles būtų galima adsorbuoti lengvu kontaktu nesuspaudžiant ir nepažeidžiant puslaidininkinių plokštelių.

Gerai žinoma, kad kuo grynesnė sudėtisaliuminio oksido keramikayra, tuo didesnis bus jo stiprumas. Semicorex aliuminio oksido keramikos manipuliatoriai yra pagaminti iš didelio grynumo aliuminio oksido keramikos. Tai lemia išskirtinį mechaninį stiprumą ir kietumą. Jų atsparumas dilimui gerokai viršija plieno ir chromo plieno atsparumą, todėl ilgainiui gali išlaikyti paviršiaus tikslumą didelės trinties aplinkoje, sumažinant plokštelių įbrėžimų riziką ir todėl jie idealiai tinka labai tiksliai valdyti. Šis aliuminio oksido keramikos manipuliatorius turi didelę varžą. Jo išskirtinės elektros izoliacijos savybės gali veiksmingai užkirsti kelią elektrostatiniams trukdžiams ir sumažinti dalelių adsorbcijos riziką, kad būtų išlaikytas švarus plokštelės paviršius. Be to, puslaidininkių gamybos procesas apima sudėtingas grandines ir aukštos įtampos aplinką įrangoje. Didelės varžos aliuminio oksido keramikos manipuliatorius efektyviai blokuoja srovės laidumą, užtikrindamas elektros saugumą puslaidininkių plokštelių tvarkymo metu. Dėl aliuminio oksido keramikos atsparumo aukštai temperatūrai ir terminio stabilumo manipuliatorius labai mažai deformuojasi puslaidininkių terminio apdorojimo procese, gali tiksliai išdėstyti plokšteles ir išvengti tikslumo nukrypimo dėl terminės deformacijos. Be to, ši medžiaga pasižymi puikiu cheminiu stabilumu ir yra labai atspari korozijai nuo rūgščių, šarmų, išlydytų metalų ir kt. Nelengva reaguoti su kitomis medžiagomis, kad išsiskirtų teršiančios dalelės, ir gali efektyviai apsaugoti puslaidininkių dalis nuo cheminio užteršimo.