„Al2O3“ vakuuminiai griebtuvai

„Semicorex al₂o₃“ vakuuminiai griebtuvai yra tikslūs mikroporiniai keraminiai komponentai, sukurti vaflių tvarkymo, fiksavimo ir perdirbimo programoms puslaidininkių pramonėje. Pagaminta iš juodo aliuminio oksido, kurio kontroliuojamas poringumas yra 35–40%, jis yra ypač stabilus, švarus ir patikimas terpė vakuuminiams adsorbcijos procesams. „Chuck“ sujungia substrato keraminį apdorojimą ant funkcinio paviršiaus, naudodamas pažangias gamybos technikas, kad būtų užtikrintas nuoseklus išsiurbimo efektyvumas trapiam vartotojo vafliui atliekant kritinius proceso veiksmus.

Juodasaliuminio oksidas (al₂o₃); turi unikalų mechaninio stiprumo, kietumo ir cheminio atsparumo pusiausvyrą, palyginti su metalais ir polimerais. Mikroporinė struktūra yra optimizuota kontroliuojamam poringumui, kad būtų užtikrintas pastovus vakuumo pasiskirstymas per vakuuminio chucho paviršių. Nuoseklus vakuumo pasiskirstymas visame vaflinio chucho paviršiaus plote sumažina lokalią įtempių koncentraciją, ribojant vaflių iškraipymo, kraštų skaldymo ir lūžio riziką. Kadangi vaflių gamyba toliau didėja, o geometrijos ir prietaisai tampa trapesni, proceso derlius ir patobulintas vaflių tvarkymo patikimumas tampa kritiniais reikalavimais.

Kontroliuojamas 35–40% poringumas yra pagrindinė šio vakuuminio chucho savybė. Optimizuotas porų tinklas gali sumažinti turbulenciją oro evakuacijos metu iš porų srities ir išlaikyti laikymo jėgą, išlaikant mechaninį stiprumą ir ilgaamžiškumą. Priešingai, mechaniniai spaustukai naudoja plokšteles, kurios sukelia lokalizuotus įtempių taškus ir veikia atsižvelgiant į atskiro vaflio mechanines savybes. Todėl mikroporinio aliuminio oksido paviršius yra pranašesnis, kai mechaninių metodų metu vaflininkai yra plokšti ir nenuosekliai. Tai suteikia puikų kandidatą į aukštųjų technologijų puslaidininkių procesus, kuriems naudingas vaflių lygumas ir sklandus sulaikymas, įskaitant litografiją, ėsdinimą, nusėdimą ir metrologiją.

Žvelgiant iš šilumos perspektyvos, juodoji aliuminio oksido medžiaga turi puikų sugebėjimą išlaikyti matmenų stabilumą pakilusios temperatūros metu. Esant mažam šiluminio išsiplėtimo koeficientui, vakuuminis chuckas gali išlikti tikslus net šildymo ir aušinimo ciklų metu, o tai yra kritinis aspektas dėl greito temperatūros svyravimo, dažnai pasireiškiančio vaflių perdirbimo aplinkoje. Šios keramikos atsparumas kietumui ir dilimui taip pat padidina chucko ilgaamžiškumą, sumažina įrangos operatorių priežiūros dažnį ir sumažina bendrą nuosavybės išlaidų kainą.

Cheminis aliuminio oksido keramikos inertiškumas yra dar viena esminė savybė. Puslaidininkių Fabsą įrangos komponentai turi toleruoti agresyvias chemines medžiagas, valymo priemones ar plazmos aplinką be pablogėjimo. Juodojo aliuminio oksidas pasižymi puikiomis savybėmis, leidžiančiomis atsispirti korozijai, oksidacijai ir (arba) paviršiaus užteršimui, todėl sulaiko struktūrą ir struktūrinį/fazinį stabilumą sužadinto veikimo ciklo laikotarpiais. Ši savybė taip pat reiškia, kad vafliams nėra užteršta, kuri apsaugo grandinę nuo to, kaip tie prietaisai veikia, taip pat pasitiki švarios kambario protokolais.

„Al₂o₃“ vakuuminiai chriumai ne tik pasižymi puikiu funkciniu našumu, bet ir paviršiaus apdaila yra griežtai kontroliuojama. Apdaila sukuriama naudojant didelio tikslumo apdirbimo ir poliravimo procesus, kurie suteikia vienodą lygumą ir glotnumą, kad subtilūs vafliai galėtų būti laikomi be įbrėžimų ar paviršiaus pažeidimų. Labai sukurtas medžiagos poringumas suteikia tinkamą pusiausvyrą tarp siurbimo ir paviršiaus apsaugos, leidžiančios tinkamai laikyti vaflį, vengiant bet kokio plonų, trapių substratų žalos.

Operatyviniu požiūriu „Al₂o₃“ vakuuminiai griebtuvai yra kritinė šiuolaikinės puslaidininkių gamybos komponentas. Tai palengvina automatizavimą, leidžiantį vafliams pasiimti, sudėti, suderinti ir apdoroti, patikimai patenkinti proceso reikalavimus. Aliuminio oksido juoda spalva taip pat padeda ir suteikia pragmatinius pranašumus, nes sumažina šviesos atspindį optinių patikrinimų ir matavimo procesų metu, ypač ten, kur naudojama aukšto tikslumo optinė įranga.

Derinant pažangias keramikos technologijas su gerai apgalvotu dizainu, „Al₂o₃“ vakuuminiuose šypteliuose-ilgalaikis, aukšto našumo sprendimas puslaidininkių gamintojų vaflių tvarkymo iššūkiams. „Al₂o₃“ vakuuminiai griebtuvai pagerina produktyvumą dėl sumažėjusio vaflių nuostolių, sumažina prastovą dėl patvarumo ir padidina proceso stabilumą, užtikrinant pastovią vakuumo laikymo jėgą.

„Semicorex al₂o₃“ vakuuminiai griebtuvai, pagaminti iš mikroporinės juodos spalvosaliuminio oksidasyra ne tik armatūra; Tai yra kritinis tikslaus puslaidininkių gamybos įgalintojas. Dėl optimizuoto poringumo, išskirtinių medžiagų savybių ir tvirto našumo jis užtikrina patikimą vaflių tvarkymą visuose reikliausiose gamybos procesuose. Gamintojams, norintiems pasiekti didesnį derlių, patobulintą proceso efektyvumą ir puikią įrangos našumą, juodasis aliuminio oksido vakuuminis chuckas yra būtinas pasirinkimas.