6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5

Semicorex 6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5, dažnai vadinamas susceptoriais, atlieka esminį vaidmenį saugiai laikydamas puslaidininkines plokšteles apdorojant aukštoje temperatūroje. Susceptoriai užtikrina, kad plokštelės išliktų fiksuotoje padėtyje, o tai labai svarbu vienodam sluoksnio nusodinimui:

Šilumos valdymas:

6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5, skirtas užtikrinti tolygų šildymą ir vėsinimą visame plokštelės paviršiuje, o tai labai svarbu epitaksiniams augimo procesams, naudojamiems kuriant aukštos kokybės puslaidininkių sluoksnius.

Epitaksinis augimas:

SiC ir GaN sluoksniai:

Aixtron G5 platforma pirmiausia naudojama SiC ir GaN sluoksnių epitaksiniam augimui. Šie sluoksniai yra labai svarbūs gaminant didelio elektronų mobilumo tranzistorius (HEMT), šviesos diodus ir kitus pažangius puslaidininkinius įrenginius.

Tikslumas ir vienodumas:

Didelio tikslumo ir vienodumo, reikalingo epitaksinio augimo procese, palengvina išskirtinės 6 colių plokštelių laikiklio, skirto Aixtron G5, savybės. Nešiklis padeda pasiekti griežtą storį ir sudėties vienodumą, reikalingą didelio našumo puslaidininkiniams įtaisams.

Privalumai:

Aukštos temperatūros stabilumas:

Ekstremalios temperatūros tolerancija:

6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5, gali atlaikyti itin aukštą temperatūrą, dažnai viršijančią 1600°C. Šis stabilumas yra labai svarbus epitaksiniams procesams, kuriems reikalinga ilgalaikė aukšta temperatūra.

Šiluminis vientisumas:

Aixtron G5 skirto 6 colių plokštelių laikiklio gebėjimas išlaikyti struktūrinį vientisumą esant tokioms aukštoms temperatūroms užtikrina pastovų veikimą ir sumažina terminio skilimo riziką, dėl kurios gali pakenkti puslaidininkių sluoksnių kokybei.

Puikus šilumos laidumas:

Šilumos paskirstymas:

Didelis SiC šilumos laidumas palengvina efektyvų šilumos perdavimą per plokštelės paviršių ir užtikrina vienodą temperatūros profilį. Šis vienodumas yra gyvybiškai svarbus norint išvengti šiluminių gradientų, dėl kurių gali atsirasti defektų ir netolygumo epitaksiniuose sluoksniuose.

Patobulintas proceso valdymas:

Patobulintas šilumos valdymas leidžia geriau kontroliuoti epitaksinio augimo procesą, todėl galima gaminti aukštesnės kokybės puslaidininkių sluoksnius su mažiau defektų.

Cheminis atsparumas:

Korozinės aplinkos suderinamumas:

6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5, užtikrina išskirtinį atsparumą korozinėms dujoms, dažniausiai naudojamoms CVD procesuose, tokioms kaip vandenilis ir amoniakas. Šis atsparumas pailgina plokštelių laikiklių tarnavimo laiką, apsaugodamas grafito substratą nuo cheminio poveikio.

Sumažėjusios priežiūros išlaidos:

Dėl Aixtron G5 skirto 6 colių plokštelių laikiklio patvarumo sumažėja techninės priežiūros ir keitimo dažnis, todėl sumažėja eksploatavimo išlaidos ir pailgėja Aixtron G5 įrangos veikimo laikas.

Žemas šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE):

Minimalus terminis stresas:

Mažas SiC CTE padeda sumažinti šiluminį įtampą greito šildymo ir aušinimo ciklų, būdingų epitaksiniams augimo procesams, metu. Šis terminio įtempio sumažinimas sumažina plokštelės įtrūkimo ar deformacijos tikimybę, o tai gali sukelti įrenginio gedimą.

Suderinamumas su Aixtron G5 įranga:

Pritaikytas dizainas:

Semicorex 6 colių plokštelių laikiklis, skirtas Aixtron G5, yra specialiai sukurtas taip, kad būtų suderinamas su Aixtron G5 įranga, užtikrinant optimalų veikimą ir sklandų integravimą.

Maksimalus našumas:

Šis suderinamumas padidina Aixtron G5 sistemos našumą ir efektyvumą, todėl ji atitinka griežtus šiuolaikinių puslaidininkių gamybos procesų reikalavimus.