Vaflinių kraštų šlifavimo griebtuvas

„Semicorex“ vaflinių kraštų šlifavimo chuckas yra speciali keraminė dalis, skirta vaflinių kraštų šlifavimo procesui gamybos puslaidininkių metu. Keramika yra pagaminta iš aukšto grynumo, baltojo aliuminio oksido (Al₂o₃), turinčio mechaninį stiprumą, cheminį atsparumą ir matmenų stabilumą, kad būtų galima palaikyti vaflių šlifavimo procesą. Kadangi naujoms technologijoms reikalingi didesni vaflių skersmenys ir subtilesnės konstrukcijos prietaisuose, vaflių kraštų šlifavimas dabar vaidina svarbų vaidmenį užkertant kelią kraštų skaldymui, mikrotraumoms ir išeigai. Aliuminio oksido keramikos šlifavimo šmaikštus yra stabilus pagrindas, ant kurio galima patenkinti šiuos griežtus gamybos reikalavimus.

Aliuminio oksido keramikanaudojamas kaip konstrukcijos medžiaga dėl neįtikėtinų fizinių, cheminių ir šiluminių savybių. Baltasis aliuminio oksidas turi puikų kietumą tik su deimantu, kuris yra aukštesnis už Mohs kietumo skalę, o tai leidžia šlifavimo griebtuvui atlaikyti nusidėvėjimą ir įbrėžimą į artimiausią ateitį pasikartojant. Atsižvelgiant į nemažą mechaninį aliuminio oksido stiprumą, vaflis gali būti saugiai sugriebtas ir laikomas, o aliuminio oksido tvirtumas neleidžia iškraipyti ar deformuoti, kai yra apkrova. Atsižvelgiant į tai, aliuminio oksidas yra puikus pasirinkimas, norint gaminti armatūrą ir atramas, kur reikia tikslumo ir ilgaamžiškumo.

Šiluminis stabilumas taip pat yra savitas aliuminio oksido keramikos bruožas. Esant didesniam kaip 2000 ° C ir šiluminio smūgio stabilumui lydymosi temperatūra, chuckas gali veikti tokiomis sąlygomis, kai gali įvykti trinties kaitinimas ar temperatūros pokyčiai, jis yra nuoseklus W.R.T, kur matmenų stabilumas yra kritinis, nors šlifavimo krašto forma gali šiek tiek pakeisti matmenis. Užpildymo jėga išlieka stipri, kad nuolat palaikytų kraštų šlifavimo suderinimą. Mažas aliuminio oksido šilumos laidumas neturėtų leisti lokalizuoto kaitinimo, kad vaflis būtų pakankamai pakilęs, kad būtų galima kompromisu apie vaflio vientisumą apdorojant subtilius substratų puslaidininkius.

Žvelgiant iš cheminės perspektyvos, aliuminio oksido keramika mažai reaguoja į rūgštis, šarvus ir puslaidininkio apdorojimo plazmos aplinką. Skirtingai nuo metalinių griebtuvų, kurie gali sugadinti ar polimerinius įrenginius, kurie gali ir toliau skaidyti be aiškaus stebėjimo, aliuminio oksido keramika yra apsaugota nuo šių kasdienių aptarnavimo ciklų puslaidininkių apdorojime. Šis inertiškumas užtikrins nulinį vaflinio paviršiaus užteršimą ir išlaikys proceso grynumą, tuo pačiu ribojant bet kokį derliaus nuostolį.

Šiandienos puslaidininkių gamybos kraštovaizdyje kraštų šlifavimo procesas yra daugialypis: jis paruošia vaflį vėlesniam apdorojimui, taip pat suteikia saugų transportą, tvarkymą ir integraciją į pažangiausias litografijos ir ėsdinimo įrankius. Šiuo metu „Wafer Edge“ šlifavimo chuck yra svarbus dėlionės dalis, saugiai pritvirtinanti vaflinį, tiksliai laikantis, ir jis tiesiogiai prisideda prie vaflių patikimumo ir produkto našumo. Investuojant į aliuminio oksido keramiką, laikas sutaupomas, nes pratęstas tokio turto ilgaamžiškumas, siekiant apriboti prastovą, sumažinti dalių sąnaudas ir maksimaliai padidinti įrangos efektyvumą (OEE).

Vaflinio krašto šlifavimo šmeižtas, pagamintasAliuminio oksido keramikaAtspindi visus sudėtingo medžiagos mokslo ir tikslumo inžinerijos pranašumus. Tai parodo kietumo, atsparumo nusidėvėjimo, šiluminio stabilumo ir cheminio inertiškumo savybes, reikalingas puslaidininkių vaflių gamybos procesui. Tvirtas našumas gali sukelti patikimą vaflinių kraštų kokybę, gerą derlių ir prailgintą įrangos tarnavimo laiką. Puslaidininkių gamintojams, įsipareigojusiems nepriekaištingai tiksliai ir efektyviai, aliuminio oksido vaflinių kraštų šlifavimo chuck yra sprendimas.