Trijų žiedlapių grafito tiglis

„Semicorex“ trijų žiedlapių grafito tiglis (taip pat žinomas kaip trijų dalių arba segmentuotas grafito tiglis) yra reikšminga inžinerijos pažanga apdorojant pažangias puslaidininkines medžiagas. Tiksliai apdirbtas iš itin gryno izostatinio grafito, šis specializuotas indas yra kruopščiai suprojektuotas taip, kad atlaikytų ekstremalią šiluminę ir cheminę aplinką, kai auga naujos kartos kristalai, ypač silicio karbido (SiC) sublimacijai naudojant fizinį garų transportavimą (PVT) ir monokristalinio silicio luitų gamyboje.

Skirtingai nuo tradicinių vientisų monolitinių tiglių, naujoviška trijų žiedlapių segmentinė architektūra užtikrina puikų mechaninį reljefą, leidžiantį tigliui tolygiai plėstis ir trauktis esant greitiems terminiams ciklams, nesutrūkinėjant ir neapkraunant augančios kristalų matricos.

Pagrindiniai produkto pranašumai ir inžinerijos meistriškumas

1. Stresą mažinanti trijų žiedlapių architektūra

Išskirtinis trijų segmentų padalytas dizainas yra sukurtas taip, kad išspręstų bendrą pramonės problemą:šiluminio plėtimosi neatitikimas. Ekstremalioje puslaidininkių kristalizacijos kaitinimo ir aušinimo fazėje monolitiniai tigliai dažnai patiria vietinį įtempį, dėl kurio atsiranda struktūrinė deformacija arba ankstyvas gedimas. Sujungiama trijų žiedlapių struktūra užtikrina kontroliuojamą mikroskopinį lankstumą, žymiai sumažindama šiluminį įtampą, pašalindama tiglio įtrūkimo riziką ir pailgindama komponento eksploatavimo laiką.

2. Itin didelio grynumo anglies substratas

Užteršimas yra didžiausias didelio našumo puslaidininkių augimo priešas. Mūsų trijų žiedlapių tigliai yra griežtai valomi cheminiu ir terminiu būdu, siekiant sumažinti pelenų ir metalo pėdsakų kiekį.mažiau nei 5 ppm. Tai užtikrina išskirtinai švarią aplinką krosnies viduje, užkertant kelią lakiųjų priemaišų difuzijai į lydalo arba garų fazę ir išsaugant galutinio plokštelės lusto elektrinį vientisumą.

3. Išskirtinis šiluminio profilio vienodumas

Norint pasiekti nepriekaištingą vieno kristalo struktūrą, reikia tiksliai kontroliuoti šiluminius gradientus. Mūsų pasirinkto izostatinio grafito aukštas šilumos laidumas garantuoja greitą ir vienodą šilumos perdavimą visuose trijuose segmentuose. Šis vienodas šiluminis profilis pašalina lokalizuotas „karštąsias vietas“, skatina tobulai plokščią kietėjimo frontą ir sumažina defektus, pvz., išnirimus augančio kristalo luite.

4. Pažangios paviršiaus dangos (pasirinktinai)

Siekiant patenkinti alinančius SiC kristalų traukimo poreikius – kai temperatūra viršija 2000 ℃ labai korozinėje aplinkoje – šie tigliai gali būti patobulinti naudojant specialiasTantalo karbidas (TaC)arbaSilicio karbidas (SiC)cheminės garų nusodinimo (CVD) dangos. Šis apsauginis barjeras užtikrina neprilygstamą atsparumą reaktyviajai dujų erozijai ir apsaugo nuo anglies išsiskyrimo.

Pirminės programos

Mūsų trijų žiedlapių grafito tigliai yra plačiai naudojami pažangiose pramoninėse karštosiose zonose:

Silicio karbido (SiC) kristalų augimas: būtinas plačiajuosčio diapazono galios elektronikai, naudojamai elektrinėse transporto priemonėse (EV) ir ekologiškuose energijos tinkluose.

Czochralski (CZ) ir PVT metodai: Idealiai tinka kaip didelio stiprumo išorinis atraminis apvalkalas arba tiesioginis izoliavimo indas aukštos temperatūros indukcinėse arba atsparumo krosnyse.

Sudėtinė puslaidininkių sintezė: tinka didelio grynumo naujos kartos substrato medžiagų apdorojimui.

Kaip pirmaujanti pažangių medžiagų sprendimų puslaidininkių pramonei tiekėja, mūsų gamybos procesai yra griežtai kontroliuojami naudojant visiškai automatizuotas sistemas. Kiekvienam trijų žiedlapių grafito tigliui atliekami griežti neardomieji bandymai, tikslūs koordinuoti matavimai ir griežtas grynumo patvirtinimas. Siūlome nuspėjamą, labai pakartojamą šiluminį našumą, leidžiantį puslaidininkių gaminiams maksimaliai padidinti našumą, sumažinti prastovų laiką ir sumažinti bendras nuosavybės išlaidas.