„Teflon“ kasetės

„Semicorex Teflon“ kasetės yra aukštos kokybės vaflių nešikliai, specialiai sukurti naudojami reikalaujančioje cheminėje aplinkoje, kai būtina grynumas, cheminis atsparumas ir šiluminis stabilumas. Pagaminta iš didelio grynumo politetrafluoretileno (PTFE), šios kasetės yra plačiai naudojamos puslaidininkių gamyboje, drėgname ėsdinime, cheminiu valymu ir kitais taikymais, kai labai agresyvios cheminės medžiagos yra įprastos. Dėl jų nereceptinio pobūdžio jie idealiai tinka tvarkyti subtilius substratus, tokius kaip silicio plokštelės, stiklo plokštės ir kiti tikslūs komponentai, į procesą neįvesdami užteršimo ar dalelių.

Įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip litografija, ėsdinimas ir jonų implantacija, kasetės vaidina svarbų vaidmenį gabenant ir perkeliant vaflius tarp skirtingų prietaisų. Skirtingi proceso įrangai gali būti skirtingi kasetės sąsajos reikalavimai, kad būtų užtikrinta, jog vaflių nešikliai gali būti tiksliai gaunami ir dedami.

Žvelgiant iš medžiagų ir dizaino, medžiagos, atsparios šilumai, pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis, matmenų stabilumu ir paprastai naudojamos patvarios, antistazinės, žemos, žemos kritulės ir perdirbamos. Skirtingi vaflių dydžiai, proceso mazgai ir procesai naudoja skirtingas medžiagas. Bendrosios medžiagos yra PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP ir kt.

„Teflon“ kasetės pasižymi didesniu cheminiu atsparumu aplinkoje, naudojant hidrofluoro rūgštį, azoto rūgštį, sieros rūgštį ir kitus stiprius korozijos priemones. Skirtingai nuo įprastų medžiagų, tokių kaip polipropilenas ar nerūdijantis plienas, PTFE nyksta; nespėja; Išplovimas nėra medžiagų atšiauriose cheminėse voniose. Todėl našumas garantuojamas ilgą laiką, taigi kasetės patikimumas didelio pralaidumo gamybos linijoms ir ypač švariai aplinkai. Jo tvirtumas reiškia mažesnius priežiūros poreikius ir pakeitimo dažnį, taip sumažinant ilgalaikes eksploatavimo išlaidas.

„Teflon“ kasetės parodo labai didelį šiluminį stabilumą. Jie gali lengvai atlaikyti temperatūrą nuo –200 ° C iki +260 ° C, taikoma ir kriogeniniams, ir aukštos temperatūros procesams. Net įkaitintos džiovinamosios kameros ar šaltos cheminės vonios, kasetės nepraranda savo konstrukcijos stiprumo; Jie nesilaiko ir nesulaužo, užtikrindami, kad vafliai perdirbimo metu liks saugiai laikomi. Šis atsparumas temperatūrai labai prisideda prie proceso valdymo ir vienodumo, kuris yra labai svarbus puslaidininkių ir MEMS gamybai.

Ne mažiau svarbi „Teflon“ kasetės savybė yra jo inertinis, nelipnus paviršius. PTFE iš esmės neleidžia adsorbuoti dalelių ir cheminių liekanų, todėl sumažina užteršimo riziką švarios kambario aplinkoje. Tai turi būti sujungta su lygiu paviršiaus apdaila, leidžiančia greitai ir greitai skalauti, taigi švaresni rezultatai ir greitesnis ciklo laikas. Puslaidininkių apdorojant, kai defektus gali sukelti net mikroskopiniai teršalai, šis švaros ir cheminio inertiškumo lygis yra privalomas.

Kiekviena kasetė yra tiksliai pagaminta atsižvelgiant į įtemptus nuokrypius, garantuojant pastovų vaflių sulyginimą ir tarpus, kol ji judama ir dedama į skystį. Jų lengvai suprojektuota forma padeda greitam cheminiam srautui ir kanalizacijai, o tai pagreitina cheminius valiutų kursus ir pagerina valymo ar ėsdinimo vienodumą vaflių paviršiuje.  Kasetės yra standartinių dydžių 4 colių, 6 colių ir 8 colių vafliams, kurių pritaikymo parinktys gali būti pritaikytos konkrečioms substrato matmenims, lizdų skaičiui ir tvarkymo reikalavimams.

„Teflon Cassettes“, sukurta suderinamumui su automatiniais šlapiais suoleliais ir robotų vaflių tvarkymo sistemomis, lengvai integruoja į daugumą puslaidininkių gamybos sąrankų. Jų tvirta konstrukcijos ir švaraus kambario klasės apdaila patenkina griežtus ISO sertifikuotos aplinkos poreikius. Visos kasetės kruopščiai apžiūri ir yra iš anksto valomos į ypač gryną vandenį, kad atitiktų švaros standartus, reikalingus pažengusiai mikroelektronikos gamybai. Gali būti pateikiami atitikties ir viso materialaus atsekamumo sertifikatai, siekiant užtikrinti kokybės užtikrinimo protokolų laikymąsi.