Kinija Specialusis grafitas Gamintojai, tiekėjai, gamykla

Specialusis grafitas yra tam tikras dirbtinis grafitas, kuris apdorojamas. Tai yra svarbi medžiaga, kurios būtina visais puslaidininkių ir fotoelektrinių gamybos proceso aspektais, įskaitant kristalų augimą, jonų implantaciją, epitaksiją ir kt.

1. Silicio karbido (sic) kristalų augimas

Silicio karbidas, kaip trečiosios kartos puslaidininkių medžiaga, plačiai naudojama naujose energetinėse transporto priemonėse, 5G ryšiuose ir kituose laukuose. 6 colių ir 8 colių SiC kristalų augimo procese izostatinis grafitas pirmiausia naudojamas šiems pagrindiniams komponentams gaminti:

Grafito tiglis: Tai gali būti naudojama SiC miltelių žaliavos sintezei ir taip pat padedant augti kristalų augimui aukštoje temperatūroje. Didelis jo grynumas, aukštos temperatūros atsparumas ir šiluminio smūgio atsparumas užtikrina stabilią kristalų augimo aplinką.

Grafito šildytuvas: Tai užtikrina vienodą šilumos pasiskirstymą, užtikrinantį aukštos kokybės sic kristalų augimą.

Izoliacijos vamzdis: Tai palaiko temperatūros vienodumą kristalų augimo krosnyje ir sumažina šilumos nuostolius.

2. Jonų implantacija

Jonų implantacija yra pagrindinis puslaidininkių gamybos procesas. Izostatinis grafitas pirmiausia naudojamas šiems komponentams gaminti jonų implantuose:

Graphito getteris: Tai sugeria priemaišų jonus jonų pluošte, užtikrinant jonų grynumą.

Grafito fokusavimo žiedas: jame pagrindinis dėmesys skiriamas jonų pluoštui, pagerindamas jonų implantų tikslumą ir efektyvumą. Grafito substrato dėklai: naudojami palaikant silicio plokšteles ir palaiko stabilumą bei konsistenciją jonų implantacijos metu.

3. Epitaksijos procesas

„Epitaxy“ procesas yra kritinis puslaidininkių prietaisų gamybos žingsnis. Izostatiškai prispaustas grafitas pirmiausia naudojamas šiems komponentams gaminti epitaksijos krosnyse:

Grafito dėklai ir jautrulės: naudojami silicio plokštelėms palaikyti, užtikrinant stabilų atramą ir vienodą šilumos laidumą epitaksijos proceso metu.

4. Kitos puslaidininkių gamybos programos

Izostatiškai paspaustas grafitas taip pat plačiai naudojamas šiose puslaidininkių gamybos programose:

Ordinimo procesas: naudojamas grafito elektrodams ir apsauginiams komponentams gaminti ėstininkams. Jo atsparumas korozijai ir didelis grynumas užtikrina stabilumą ir tikslumą ėsdinimo procese.

Cheminis garų nusėdimas (CVD): naudojamas grafito dėklams ir šildytuvams gaminti CVD krosnyse. Didelis jo šilumos laidumas ir atsparumas aukštai temperatūrai užtikrina vienodą ploną plėvelę.

Pakuočių testavimas: naudojamas bandymo armatūros ir nešiklio dėklų gamybai. Aukštas tikslumas ir mažas užterštumas užtikrina tikslius bandymo rezultatus.

Grafito dalių pranašumai

Aukštas grynumas:

Naudojant didelio grynumo izostiškai paspaustą grafito medžiagą, turinčią ypač mažą priemaišų kiekį, ji atitinka griežtus puslaidininkių gamybos medžiagų grynumo reikalavimus. Pačios bendrovės gryninimo krosnis gali išvalyti grafitą iki žemiau 5ppm.

Aukštas tikslumas:

Naudojant pažangią apdorojimo įrangą ir subrendusią apdorojimo technologiją, ji užtikrina, kad produkto matmenų tikslumas ir formos bei padėties nuokrypiai pasiektų mikronų lygį.

Aukštas našumas:

Produktas pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui korozijai, atsparumui radiacijai, dideliam šilumos laidumui ir kitoms savybėms, atitinkančioms įvairias atšiaurias puslaidininkių gamybos sąlygas.

Individualizuota paslauga:

Individualizuotos produktų projektavimo ir apdorojimo paslaugos gali būti teikiamos atsižvelgiant į klientų poreikius, kad būtų patenkinti skirtingų programų scenarijų poreikiai.

Grafito produktų tipai

(1) izostatinis grafitas
Izostatinius grafito produktus gamina šaltas izostatinis presavimas. Palyginti su kitais formavimo metodais, šio proceso sukuriami tiražai turi puikų stabilumą. Grafito produktai, reikalingi SIC pavieniams kristalams, yra didelio dydžio, o tai lems nelygią grynumą paviršiuje ir grafito produktų viduje, kurie negali atitikti naudojimo reikalavimų. Norint patenkinti didelio dydžio grafito produktų, reikalingų SIC pavieniams kristalams, gryninimo reikalavimus, turėtų būti priimtas unikalus aukštos temperatūros termocheminio impulsų gryninimo procesas, kad būtų pasiektas gilus ir tolygus didelio dydžio ar specialios formos grafito produktų gryninimas, kad produkto paviršiaus ir šerdies grynumas galėtų atitikti naudojimo reikalavimus.

(2) Porėtas grafitas
Porėtas grafitas yra grafito, kurio poringumas ir mažas tankis, rūšis. SiC kristalų augimo procese porėtas grafitas vaidina svarbų vaidmenį gerinant masės perdavimo vienodumą, sumažinant fazių pokyčio atsiradimo greitį ir gerinant kristalų formą.
Porėto grafito naudojimas pagerina žaliavos srities temperatūros ir temperatūros vienodumą, padidina ašinio temperatūros skirtumą tiglyje, taip pat daro tam tikrą poveikį žaliavų paviršiaus perkristalizacijos susilpnėjimui; Augimo kameroje porėtas grafitas pagerina medžiagų srauto stabilumą visame augimo procese, padidina augimo ploto C/SI santykį, padeda sumažinti fazių pokyčių tikimybę, o tuo pačiu metu porėtas grafitas taip pat vaidina svarbų vaidmenį gerinant kristalų sąsają.

(3) veltinis
Švelnus veltinis ir sunkiai jaučiamas, abu vaidina svarbių šiluminės izoliacinių medžiagų vaidmenį SiC kristalų augime ir epitaksiniais ryšiais.

(4) grafito folija
Grafito popierius yra funkcinė medžiaga, pagaminta iš didelio anglies dribsnių grafito, naudojant cheminį apdorojimą ir valcavimą aukštoje temperatūroje. Jis pasižymi dideliu šilumos laidumu, elektriniu laidumu, lankstumu ir atsparumu korozijai.

(5) Kompozicinės medžiagos
Anglies-anglies šiluminis laukas yra vienas iš pagrindinių fotoelektrinių pavienių kristalų krosnių gamyboje.

„Semicorex“ gamyba

„Semicorex“ gaminkite grafitą su mažos partijos, pritaikytais gamybos metodais. Dėl mažų partijų produktų produktai yra labiau kontroliuojami. Visą procesą kontroliuoja programuojami loginiai valdikliai (PLC), buvo užfiksuoti išsamūs proceso duomenys, leidžiantys išsamiai atsekti gyvavimo ciklo.

Viso skrudinimo proceso metu nuoseklumas, pasiektas varžybose skirtingose ​​vietose, ir palaikoma griežta temperatūros kontrolė. Tai užtikrina grafito medžiagų homogeniškumą ir patikimumą.

„Semicorex“ naudoja visiškai izostatinę spaudimo technologiją, kuri skiriasi nuo kitų tiekėjų; Tai reiškia, kad grafitas yra pats ypač uniforma ir yra ypač svarbus epitaksiniuose procesuose. Atlikti išsamūs medžiagų vienodumo bandymai, įskaitant tankį, varžą, kietumą, lenkimo stiprumą ir stiprumą skirtinguose mėginiuose.