Atsarginės dalys epitaksiniam augimui

Semicorex atsarginės dalys epitaksiniam augimui yra labai svarbios, ypač procesuose, kuriuose naudojami kvarciniai vamzdžiai. Šios dalys yra būtinos siekiant palengvinti dujų srautą, kad būtų galima suktis padėklo pagrinde ir užtikrinti tikslią temperatūros kontrolę viso epitaksinio augimo proceso metu. „Semicorex Spare Parts in Epitaxial Growth“, šnekamojoje kalboje žinomos kaip pusės dalys, yra kruopščiai sukonstruotos taip, kad atlaikytų aukštą temperatūrą ir korozinę aplinką, būdingą epitaksinio augimo kameroms. Pagaminti iš silicio karbido (SiC), jie pasižymi išskirtiniu terminiu ir cheminiu stabilumu, todėl yra idealus pasirinkimas tokioms reiklioms reikmėms. SiC naudojimas užtikrina, kad šios dalys gali atlaikyti net sudėtingiausias sąlygas.

Epitaksinio augimo atsarginės dalys primena pusmėnulio formą, sukurtos taip, kad tvirtai tilptų kvarcinio vamzdžio sąrankoje. Jų unikali pusmėnulio konfigūracija leidžia juos lengvai įdėti ir išimti iš sistemos, todėl priežiūros ir keitimo procedūros palengvinamos efektyviai ir tiksliai.

Epitaksinio augimo atsarginės dalys yra skirtos įvairiems tikslams. Pirma, jie padeda kontroliuoti epitaksinio augimo procesui būtinų dujų tiekimą. Reguliuodami dujų srautą ir pasiskirstymą, jie užtikrina tolygų puslaidininkinių medžiagų nusodinimą ant pagrindo paviršiaus, o tai labai svarbu norint pasiekti norimas medžiagos savybes ir įrenginio veikimą.

Epitaksinio augimo atsarginės dalys prisideda prie dėklo pagrindo sukimosi augimo kameroje. Šis sukimasis yra labai svarbus skatinant tolygų nusodintų medžiagų pasiskirstymą, užkertant kelią nelygumų ar defektų susidarymui epitaksiniuose sluoksniuose.