Semicorex puslaidininkinis grafito šildytuvas yra didelio efektyvumo šildymo įrenginys, pagamintas iš aukštos kokybės izostatinio grafito. Jis plačiai naudojamas pagrindinėse puslaidininkių gamybos procesų grandyse, tokiose kaip kristalų augimo krosnių terminis laukas, epitaksiniai augimo procesai, jonų implantavimo įranga, plazminio ėsdinimo įranga ir puslaidininkinių įtaisų sukepinimo formų gamyba.
Puslaidininkisgrafito šildytuvasyra pažangus šildymo įrenginys, pagamintas iš didelio grynumo izostatinio grafito medžiagos. Puikus elektros laidumas ir šilumos laidumas užtikrina tikslų temperatūros kontrolę ir vienodą šilumos paskirstymą puslaidininkinių medžiagų auginimui ir apdorojimui. Kai elektros srovė praeina per šildytuvą, ji įveikia vidinę grafito elektrinę varžą, elektros energiją paverčia šiluma, pakelia grafito temperatūrą ir įkaista. Tikslią temperatūros kontrolę paprastai galima pasiekti reguliuojant elektros srovės intensyvumą ir šildytuvo varžą.
Semicorex kruopščiai atrinktas didelio grynumo produktasizostatinis grafitaspasižymi puikiu šilumos laidumu, leidžiančiu greitai ir tolygiai perduoti šilumą į kiekvieną šildymo zonos kampą, efektyviai užkertant kelią vietiniam perkaitimui.
Pažymėtina, kad net ir esant itin aukštos temperatūros sąlygoms, pavyzdžiui, itin aukštos temperatūros lanko abliacijai, didelio grynumo izostatinis grafitas išlaiko stabilias fizines ir chemines savybes. Dėl intensyvaus karščio medžiagos paprastai išsilydo, deformuojasi arba oksiduojasi, tačiau tokio tipo grafitas gali atsispirti šiems pokyčiams. Dėl to jis puikiai tinka aukštos temperatūros puslaidininkių gamybos procesams, įskaitant vieno kristalo silicio traukimą ir silicio karbido kristalų auginimą.
Puslaidininkinis grafito šildytuvas pasižymi energijos vartojimo efektyvumu. Jis nereikalauja išankstinio pašildymo, greitai pasiekia nustatytą temperatūrą ir leidžia žymiai sutaupyti energijos, palyginti su tradiciniais šildytuvais. Didelis šiluminės konversijos efektyvumas efektyviai sumažina energijos sąnaudas, taip taupant energiją ir sumažinant suvartojimą. Eksploatacijos metu jis neišskiria teršalų ar išmetamųjų dujų, atitinka aplinkosaugos reikalavimus.
Be to, puslaidininkinis grafito šildytuvas gali pasigirti ilgu tarnavimo laiku. Didelio grynumo izostatinis grafitas suteikia jiems puikų mechaninį stiprumą, didelį atsparumą korozijai ir puikų atsparumą šiluminiam smūgiui. Jie yra mažiau jautrūs tokiems veiksniams kaip aukšta temperatūra ir cheminė korozija, todėl prailgėja tarnavimo laikas.