Puslaidininkiniai kvarciniai difuzijos vamzdžiai

Kvarcinės valtyspaprastai naudojami aukštos temperatūros, atšiauriomis cheminės korozijos sąlygomis. Operacijos metu puslaidininkinės plokštelės dedamos į kvarcinę valtį ir įstatomos į kvarco difuzijos vamzdelį. Kai difuzijos vamzdis pasiekia reikiamą temperatūrą (nuo kelių šimtų iki kelių tūkstančių laipsnių Celsijaus), proceso dujos (pvz., O2, N2, H₂, Ar) ir legiruojančios dujos (pvz., POCl₃, BBr₃) į kvarcinį difuzijos vamzdį patenka per dujų angas, difuzuojant ir oksiduojant. Be to, siekiant pagerinti difuzijos vienodumą ir tikslumą, kai kurie difuzijos procesai turi būti atliekami žemo slėgio aplinkoje. 

Pažangiuose puslaidininkių gamybos procesuose bet kokia nežymi šių procesų klaida ar trūkumas gali lemti tolesnių procesų nesėkmę. Todėl kvarcinių difuzijos vamzdžių kokybė, kaip esminės puslaidininkių gamybos dalys, yra labai svarbi ir tiesiogiai veikia puslaidininkinių įtaisų derlingumą ir našumą.

Semicorex specifikacijos Puslaidininkio klasės kvarcas

Semicorex puslaidininkiniai kvarciniai difuzijos vamzdžiai yra kruopščiai pagaminti iš aukštos kokybėspuslaidininkinis kvarcasmedžiaga. Toliau pateikiami jo specifiniai parametrai:

Parametrai gali būti pritaikyti pagal kliento reikalavimus.

Semicorex Semiconductor-Grade kvarcinių difuzijos vamzdžių veikimas

Remdamiesi mūsų patyrusia apdirbimo technologija ir patikimu medžiagų parinkimu, Semicorex puslaidininkių klasėskvarciniai difuziniai vamzdeliaidemonstruoti puikų našumą sudėtingomis eksploatavimo sąlygomis:

1. Atsparumas aukštai temperatūrai

Puslaidininkiniai puslaidininkiniai kvarciniai difuzijos vamzdžiai pasižymi nepaprastu atsparumu aukštai temperatūrai, todėl jie gali stabiliai veikti aukštos temperatūros aplinkoje iki 1200 ℃ be jokių deformacijų ar pažeidimų.

2. Šiluminio stabilumo charakteristikos

Išskirtiniu šiluminio plėtimosi koeficientu pasižymintys „Semicorex“ puslaidininkiniai kvarciniai difuzijos vamzdžiai gali atlaikyti šiluminį įtempimą greito kaitinimo ar aušinimo metu, nesunkiai įtrūkę ar nedeformuodami.

3. Cheminis atsparumas

Semicorex puslaidininkiniai kvarciniai difuzijos vamzdžiai užtikrina puikų cheminį inertiškumą aukštos temperatūros, atšiaurioje korozinėje aplinkoje. Šis veikimas labai apsaugo nuo teršalų, susidarančių dėl jų reakcijos su proceso dujomis, įtakos plokštelių kokybei.