Kvarcinės krosnies vamzdis

Semicorex kvarcinės krosnies vamzdis, vaflinės valtys, kvarciniai tigliai, skirti silicio monokristalams auginti, yra pagaminti iš didelio grynumokvarco medžiagal. Kvarcas yra plačiai naudojamas puslaidininkių pramonėje, didelio grynumo kvarcas yra svarbi medžiaga gaminant plokšteles. Pagrindinė tikslinė kvarco dalių rinka puslaidininkių srityje yra difuzijos ir ėsdinimo procesas plokštelių gamyboje, galima suskirstyti į dvi pagrindines kategorijas: aukštos temperatūros dalis ir žemos temperatūros dalis.

1. Aukštos temperatūros dalys yra kvarco krosnies vamzdis, vaflių valtis, valties laikiklis ir tt Jie turi tiesiogiai arba netiesiogiai susisiekti su silicio plokštele aukštos temperatūros aplinkoje, daugiausia pagamintos iš lydyto kvarcinio stiklo medžiagos, pagamintos termiškai apdorojant.

2. Žemos temperatūros dalys yra kvarco žiedai ėsdinimo procese, įskaitant kasetes, valymo bakus valymo procese. Jie daugiausia naudojami žemos temperatūros aplinkoje, daugiausia pagaminti iš lydyto kvarcinio stiklo, gaminamo šalto apdorojimo būdu.

Aukštos temperatūros zonoje esantys komponentai sunaudojami greičiau, tačiau dažniausiai jie naudojami kelių plokštelių sistemose (vienas laikiklis talpina kelias silicio plokšteles), o žemos temperatūros zonoje komponentai sunaudojami lėčiau, tačiau jie naudojami vienos plokštelės sistemose (vienas laikiklis talpina vieną silicio plokštelę); todėl bendras abiejų rinkos dydis yra gana panašus.

Krosnis yra sritis, kurioje plokštelės yra kaitinamos aukštoje temperatūroje, susidedančios iš kvarcinės krosnies vamzdžio, reaktoriaus ir kelių šildytuvų, ji plačiai taikoma difuzijos, oksidacijos, RTP procesuose puslaidininkių apdirbime. Krosnis daugiausia skirstoma į horizontalius ir vertikalius tipus:. Horizontalioje krosnyje plokštelės dedamos ant kvarcinės valties, kuri savo ruožtu dedama ant SiC nešiklio. Taip pat priekyje ir gale yra adaptyvios pertvaros. Nešiklis įstumiamas į kvarco krosnies vamzdį, o plokštelės reaguoja pastovios temperatūros zonoje. Vertikalioje krosnyje plokštelės dedamos ant kvarco bokšto, o po to lėtai pakeliamos į kvarco krosnies vamzdį, kad būtų galima apdoroti.

Dėl aukštų temperatūrų, susijusių su minėtuose procesuose, siekiant išvengti rimtos kvarcinės krosnies vamzdžio deformacijos ir žlugimo po pakartotinio ir ilgo naudojimo, gamybos metu reikia naudoti kvarcinės krosnies vamzdį, kuris yra atsparus deformacijai ir griuvimui bei turi ilgą tarnavimo laiką.

Čia yra privalumaikvarcaskrosnies vamzdis:

1. Atsparumas aukštai temperatūrai. Kvarcinio stiklo minkštėjimo taškas yra maždaug 1730 ℃ ir gali būti naudojamas ilgą laiką esant 1150 ℃, o trumpalaikė maksimali temperatūra siekia 1450 ℃.

2. Atsparumas korozijai. Išskyrus vandenilio fluorido rūgštį, didelio grynumo kvarcas beveik chemiškai nereaguoja su kitomis rūgštinėmis medžiagomis. Esant aukštai temperatūrai, jis gali atlaikyti koroziją nuo sieros rūgšties, azoto rūgšties, druskos rūgšties, vandens regio, neutralių druskų, anglies ir sieros. Jo atsparumas rūgštims yra 30 kartų didesnis nei keramikos ir 150 kartų didesnis nei nerūdijančio plieno.  Jo cheminis stabilumas, ypač esant aukštai temperatūrai, neprilygsta jokiai kitai inžinerinei medžiagai.

3. Geras terminis stabilumas. Didelio grynumo kvarcas turi itin mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir gali atlaikyti drastiškus temperatūros pokyčius.  Pakaitinus didelio grynumo kvarcą iki maždaug 1100 ℃ ir panardinus į kambario temperatūros vandenį, jis nesuskils.

4. Geras šviesos pralaidumas. Didelio grynumo kvarcas turi gerą šviesos pralaidumą visame spektre nuo ultravioletinių iki infraraudonųjų spindulių. Matomos šviesos pralaidumas viršija 93%, o ultravioletiniame spektre maksimalus pralaidumas gali siekti virš 80%.

5. Geros elektros izoliacijos savybės. Didelio grynumo kvarco savitoji varža yra dešimt tūkstančių kartų didesnė nei paprasto kvarcinio stiklo, todėl jis yra puiki elektros izoliacinė medžiaga, pasižyminti geromis elektrinėmis savybėmis net esant aukštai temperatūrai.