PFA vaflių vežėjai

„Semicorex PFA“Vaflių vežėjaiyra aukštos kokybės vežėjai, skirti saugiai valdyti, laikyti ir gabenti puslaidininkių plokšteles ypač valomoje aplinkoje. Pažengusių puslaidininkių gamyba užtikrina, kad PFA vaflių nešikliai siūlytų neprilygstamą cheminį atsparumą, šiluminį stabilumą ir dalelių valdymą nuo vaflių vientisumo ir švaros gamybos metu iki galutinio bandymo.

Pagaminti iš naujos PFA, šie vaflių nešėjai rodo didelį atsparumą atšiaurioms cheminėms medžiagoms, tokioms kaip stiprios rūgštys, bazės ir tirpikliai, paprastai naudojami valant ir ėsdinant vaflius. PFA labai mažai jonų išplovimo ir pralenkimo savybės daro jį tinkamia medžiaga atliekant svarbias švarios kambario užduotis, kur net mažyčiai teršalų kiekiai gali paveikti prietaiso derlių.

PFA vaflių vežėjai gaminami švariose patalpose ir dirba su 1 klasės (ISO 3 klasė) Švaraus kambario standartais. Lygus, nelipnus PFA paviršius sumažina dalelių susidarymą ir sukibimą, užkertant kelią užteršimui liekanomis ar dalelėmis. Be to, PFA hidrofobinis pobūdis palengvina kruopštų skalavimą ir greitą džiovinimą, dar labiau sumažindamas kryžminio užteršimo riziką šlapio perdirbimo etape.

Kiekvienas PFA vaflių laikiklis yra tiksliai pagamintas siekiant užtikrinti saugų ir net vaflių palaikymą judant ir laikant. Grožė plyšiai padeda vafliams mažai kontaktų, sumažina stresą ir skalda vaflių kraštus. Vežėjai būna įvairių formų, kad tilptų įvairaus dydžio vafliai, tarp kurių yra 100 mm, 150 mm, 200 mm ir 300 mm skersmens. Pasirenkami viršūnės ir griežtai fiksavimo būdai suteikia papildomą saugumą nuo šoko gaminiams, vibracijai ir aplinkos poveikiui.

Dėl puikaus PFA šiluminio atsparumo iki 260 ° C, jis suderinamas su aukštos temperatūros procesais, tokiais kaip difuzija, oksidacija ir cheminio garų nusėdimo CVD. Vežėjas išlaiko savo struktūrinį vientisumą pakartotiniu šiluminiu ciklavimu, todėl yra tinkamas tiek partijoms, tiek automatinei perdirbimo aplinkai.

PFA vaflių vežėjai platų vaflių valymą, drėgną ofortą, fotolitografijos CMP ir kitus priekinio ir galinio proceso procesus gaminant IC gamyboje. Dėl tvirto dizaino ir grynumo jie yra idealūs naudoti FAB, R&D Labs ir OEM įrangai, kuriai reikalingi griežti užteršimo kontrolės protokolai.

PritaikytasPFA vaflių vežėjaiGali būti sukurtas siekiant patenkinti konkrečius automatizavimo reikalavimus, įskaitant robotų tvarkymą, takelių sistemas ir vertikalų/horizontalųjį transportą. Vežėjai yra visiškai suderinami su standartine vaflių tvarkymo įranga ir puslaidininkių gamybos įrankiais.