PBN šildytuvas

„Semicorex“ pirolitinis boro nitrido PBN šildytuvas yra aukšto grynumo, didelio našumo šildymo komponentas, skirtas reikalauti reiklių, kai būtinos ypač valomi, chemiškai stabilios ir termiškai efektyvios medžiagos. Pagaminta cheminio garų nusėdimo (CVD) procesu, PBN pasižymi išskirtiniu šilumos laidumu, atsparumu aukštai temperatūrai ir išskirtinį cheminį inertiškumą, todėl tai yra idealus pasirinkimas puslaidininkių apdorojimui, krištolo augimui ir vakuuminiams tikslams.

PBN šildytuvas yra šildytuvas, kuris naudoja labai izoliuojantį PBN kaip substratą ir naudoja žemo slėgio šiluminio skilimo cheminio garų nusėdimą (CVD), kad padengtų laidų PG esant žemam slėgiui (žemiau 10TORR) ir aukšta temperatūra. Pagrindiniai šio sudėtinio šildytuvo komponentai yra pirolitinis boro nitridas (PBN) ir pirolitinis grafitas (PG). Dėl puikaus atsparumo korozijai ir aukštai temperatūros atsparumui jis daugiausia naudojamas puslaidininkių substrato kaitinimui (naudojamas MBE, MOCVD, dulkinančioje dangoje ir kt.); superlaidininko substrato šildymas; Mėginio šildymas mėginio analizės metu; Elektronų mikroskopo mėginio šildymas; metalo šildymas; Metalo garinimo šildymo šaltinis ir kt.

PBN yra inertiškos ėsdinančioms dujoms; turi aukštą grynumą (didesnis nei 99,99%); Nereikia ir nereaguoja su daugeliu išlydytų metalų (jis pasižymi nelipnios keptuvės savybėmis, o metalas gali būti naudojamas 100%); turi gerą atsparumą aukštai temperatūrai (maksimali darbinė temperatūra yra 2000 ℃); geras tankis; Geras šiluminio smūgio atsparumas ir kitos puikios savybės daro jį idealia medžiaga PBN-PG kompozicinių šildytuvų paruošimui. PG greitai gali būti pašildytas iki 1600 ℃ (inertinėje atmosferoje ir vakuume) PBN šildytuve. Tuo pačiu metu kartu su geru PBN šilumos laidumu šildymo paviršius turi gerą šilumos vienodumą. Sparčiai plėtojant susijusias pramonės šakas, PBN-PG kompozicinių šildytuvų paklausa taip pat greitai padidėjo.

PBN šildytuvus galima gaminti įvairiomis formomis ir konfigūracijomis, kad atitiktų konkrečius projektavimo ir integracijos reikalavimus. Tipiški dizainai apima plokštuminius šildytuvus, vamzdinius šildytuvus ir pasirinktines geometrijas su įterptomis arba paviršiaus montuojamais šildymo elementais. Šildymo elementai paprastai yra pagaminti iš pirolitinio grafito (PG) ir kapsuliuoti į PBN, užtikrinant visiškai užklijuotą, elektra izoliuojančią ir termiškai efektyvią struktūrą.