PBN elektrostatinis griebtuvas

Medžiagos savybėsPBNElektrostatinis griebtuvas

Atsparumas aukštai temperatūrai ir dielektrinis stiprumas

ThePBNElektrostatinis griebtuvas yra žinomas dėl savo išskirtinio atsparumo aukštai temperatūrai, o tai yra esminis puslaidininkių gamybos proceso bruožas. Pirolitinis boro nitridas (PBN), medžiaga, naudojama griebtuvo konstrukcijoje, pasižymi didesne varža nei dažniausiai naudojamos keramikos, o tai labai svarbu norint išlaikyti Johnsen-Rahbek (J-R) griebtuvo jėgą iki 1050 °C temperatūros. Ši didelė varža kartu su dideliu dielektriniu stiprumu užtikrina, kad net ir esant dideliam karščiui būtų veiksmingai išvengta elektros gedimo, taip padidinant griebtuvo veikimo patikimumą.

Šiluminis vienodumas ir atsparumas smūgiams

PBN šešiakampė grotelių struktūra, paruošta cheminiu garų nusodinimu aukštesnėje nei 1500 °C temperatūroje, prisideda prie išskirtinio terminio vienodumo ir atsparumo smūgiams. Didelio tankio šildymo elementai vidujePBNElektrostatinis griebtuvas leidžia pasiekti pastovų plokštelės šiluminį profilį, kurio vienodumas yra 1,1–1,5 % esant 600–800 °C temperatūrai. Be to, PBN pagrindu pagamintas griebtuvas pasižymi puikiu atsparumu šiluminiam smūgiui ir mažesnei šiluminei masei, todėl jis gali pasiekti 600 °C, esant 23 °C/sek. greičiui, nerizikuojant įtrūkti ar išsisluoksniuoti.

Pritaikomas kelių zonų šildymas

PBN elektrostatinis griebtuvas yra lengvai pritaikomas, turintis kelių zonų šildymo galimybes, leidžiančias maksimaliai kontroliuoti temperatūrą. Šis pritaikymo lygis užtikrina, kad kiekvienas griebtuvas gali būti pritaikytas prie konkrečių individualių klientų reikalavimų, suteikiant lankstų sprendimą įvairioms puslaidininkių apdorojimo programoms.

ProgramosPBNElektrostatinis griebtuvas

Jonų implantavimas ir plokštelių tvarkymas

PBN elektrostatinis griebtuvas yra tinkamiausias plokštelių apdorojimo aparatas jonų implantavimo procesuose. Dėl savo gebėjimo laikyti plokšteles aukštesnėje nei 1000°C temperatūroje jis yra vienas universaliausių elektrostatinių griebtuvų rinkoje. Dėl didelio tankio kelių zonų šildymo elementų šį universalumą dar labiau padidina jo gebėjimas išlaikyti plokšteles labai siauruose temperatūros diapazonuose.

Silicio karbido jonų implantacija

Konkrečiai taikant SiC jonų implantaciją,PBNElektrostatinis griebtuvas siūlo perspektyvų sprendimą, susijusį su plokštelių šildymo ir tvarkymo iššūkiais. Dėl dviejų funkcijų, įskaitant didelę griebtuvo jėgą, didelę šildymo galią, gerą šiluminį vienodumą ir greitą atsaką, jis yra idealus pasirinkimas sudėtingiems SiC jonų implantavimo reikalavimams patenkinti.

Puslaidininkių gamyba

PBN elektrostatinis griebtuvas vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkių gamyboje, kur būtinas tikslus plokštelių valdymas ir temperatūros valdymas. Dėl didelio atsparumo šiluminiam smūgiui ir greito temperatūros pakilimo jis tinka pažangiems puslaidininkių procesams, kuriems reikalingas griežtas temperatūros valdymas ir greitas terminis ciklas.