PBN kompoziciniai šildytuvai

„Semicorex PBN“ kompoziciniai šildytuvai sujungia puikų pirolitinio grafito šilumos laidumą su cheminiu inertiškumu ir elektriniu pirolitinio boro nitrido izoliacija. Šie šildytuvai yra pastatyti iš labai aukšto grynumo grafito ir PBN, kuris naudojamas naudojant aukštos kokybės CVD (cheminio garų nusėdimo) procesą esant aukšto grynumo nusėdimo sąlygoms. Kiekvienas atskirų pasiekimų sluoksnis buvo nusodintas labai ekstremaliai kontroliuojamu, kad būtų užtikrintas ypač aukšto grynumo ir nuoseklios šiluminės savybės. Grafito šerdis, užtikrinanti greitą ir tolygų kaitinimą visame, yra apsaugota nuo oksidacijos ir užteršimo PBN kapsule; Tai daro šildytuvą idealų vakuuminių dujų ir inertinių dujų aplinkai. Šie PBN šildytuvai yra tikslingai suprojektuoti naudoti MBE (molekulinės pluošto epitaksijos) reaktoriuose, CVD reaktoriuose ir kitose kristalų augimo sistemose.

Pirolitinis boro nitrido-pirolitinis grafitas (PBN-PG) kompozicinis šildytuvas yra šildytuvas, kuris naudoja aukštos disponavimo PBN kaip substratą ir naudoja žemo slėgio šiluminio skilimo cheminį garų nusėdimą (CVD) esant žemam slėgiui (žemiau 10Torr) ir aukštą temperatūrą, kad padengtų laidinį PG. Pagrindiniai šio sudėtinio šildytuvo komponentai yra pirolitinis boro nitridas (PBN) ir pirolitinis grafitas (PG). Dėl puikaus atsparumo korozijai ir aukštai temperatūros atsparumui jis daugiausia naudojamas puslaidininkių substrato kaitinimui (naudojamas MBE, MOCVD, dulkinančioje dangoje ir kt.); superlaidininko substrato šildymas; Mėginio šildymas mėginio analizės metu; Elektronų mikroskopo mėginio šildymas; metalo šildymas; Metalo garinimo šildymo šaltinis ir kt.

PBN šildytuvai gali atlaikyti veikimo temperatūrą iki 1600 ° C vakuume ir turėti geresnę galimybę atlaikyti šiluminį šoką dėl bet kokių metalo pagrindu pagamintų alternatyvų, kuriomis jūs pasitikėtumėte. Šildytuvo paviršius yra ypač lygus ir tankus, todėl veikimo metu jis sukuria žymiai mažiau dalelių, o tai yra labai svarbu, kad būtų galima toleruoti užterštumą, pavyzdžiui, puslaidininkių vaflių apdorojimą.

Kompozicinė struktūra suteikia puikų šiluminį vienodumą per šildytuvo paviršių, o jo varžinius takus galima pritaikyti, kad būtų galima pritaikyti šilumos pasiskirstymą. Ši konstrukcija suteikia galimybę greitai padidinti ir atšaukti ciklus apdorojant, nesulaužant ir delaminuojant dėl naudojamų medžiagų šiluminio išsiplėtimo koeficientų. Elektrodai gali atlaikyti nuolatinę aukštą srovę ir taip pat suderinami vakuume.

„Semicorex“ suteikia neribotą dizaino lankstumą unikalioms formoms, dydžiui ir galios reikalavimams, jei reikia, patenkinti konkrečius taikymo poreikius; Nesvarbu, ar tai būtų standartiniai vaflių dydžiai, ar sudėtingesnės geometrijos, mes garantuojame matmenų tikslumą ir šiluminį vienodumą kiekviename pagamintame vienete.

„PBN Composite“ šildytuvai puikiai tinka ypač švarioms programoms, įskaitant:

• MBE sistemos, skirtos III-V ir II-VI junginio puslaidininkių apdorojimui
• Optinių komponentų vakuuminės dengimo sistemos
• Safyro ir SIC kristalų augimo sistemos
• Aukšto grynumo šiluminis apdorojimas tyrimų ir plėtros laboratorijai.