PBN keramikinis diskas

Vienas iš svarbiausių PBN keraminio disko privalumų yra jo nepaprastai didelis grynumas. Sintezės procese naudojamų dujinių medžiagų (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) grynumas gerokai viršija įprastų boro nitrido miltelių grynumą. Todėl PBN keramikinis diskas pasiekia 99,99% grynumo lygį, o bendras priemaišų kiekis yra mažesnis nei 100 milijonų dalių (ppm). Šis išskirtinis grynumas yra labai svarbus puslaidininkių gamyboje, kur net menkiausias užterštumas gali sukelti elektroninių komponentų defektus. Užtikrindamas tokį aukštą grynumą, PBN keramikinis diskas sumažina užteršimo riziką, taip padidindamas puslaidininkinių įtaisų patikimumą ir veikimą.

CVD procesas, naudojamas gaminant PBN keramikinį diską, suteikia jam beveik tobulą sluoksniuotą struktūrą. Ši unikali struktūra palengvina anizotropinį šilumos laidumą – savybę, kuri labai naudinga krosnių ir vakuuminėse sistemose naudojamiems komponentams. Anizotropinis šilumos laidumas leidžia PBN keramikiniam diskui efektyviai valdyti šilumos paskirstymą, užtikrinant vienodą temperatūros valdymą visame disko paviršiuje. Ši galimybė yra būtina puslaidininkių gamybos procesuose, kuriems reikalingas tikslus šilumos valdymas, kad būtų išvengta šiluminių gradientų, dėl kurių gali sugesti arba sumažėti komponentų efektyvumas.

Kalbant apie šiluminį atsparumą, PBN keramikinis diskas išsiskiria kaip pavyzdinė medžiaga. Jis gali atlaikyti iki 1800°C temperatūrą vakuuminėje aplinkoje ir 2000°C azoto aplinkoje, neparodydamas lydymosi temperatūros. Dėl šio nepaprasto šiluminio stabilumo jis yra idealus pasirinkimas krosnių komponentams ir lydymosi indams, kur ekstremalios temperatūros yra įprasta darbo dalis. Galimybė išlaikyti konstrukcijos vientisumą esant tokioms aukštoms temperatūroms užtikrina ilgaamžiškumą ir patikimumą, sumažina dažnų keitimų poreikį ir taip sumažina bendras eksploatavimo išlaidas.

Cheminis inertiškumas yra dar vienas PBN keramikos disko bruožas. Jis atsparus reakcijoms su įvairiomis medžiagomis, įskaitant rūgštis, šarmus, organinius tirpiklius, išlydytus metalus ir grafitą. Šis inertiškumas ypač naudingas puslaidininkių gamyboje, kur reaktyviųjų medžiagų poveikis yra įprastas. Išlikdamas nereaguojantis, PBN keramikinis diskas išvengia nepageidaujamos cheminės sąveikos, galinčios pakenkti puslaidininkinių komponentų vientisumui ir funkcionalumui.

PBN keraminio disko panaudojimas puslaidininkių pramonėje yra įvairus ir veiksmingas. Dėl savo savybių jis yra ideali medžiaga naudoti įvairiose aukštos temperatūros ir didelio grynumo aplinkose. Pavyzdžiui, epitaksinio augimo procesuose diskas yra labai svarbus komponentas nusodinimo sistemose, kur jo grynumas ir šilumos laidumas užtikrina aukštos kokybės puslaidininkių sluoksnių gamybą. Be to, gaminant šviesos diodus ir kitus optoelektroninius įrenginius, PBN keramikinis diskas yra stabili ir patikima platforma, kuri palaiko sudėtingus procesus, reikalingus optimaliam įrenginio veikimui pasiekti.

Be to, PBN keraminio disko vaidmuo apima galios elektroninių prietaisų gamybą. Šie įrenginiai dažnai veikia aukštoje temperatūroje ir reikalauja medžiagų, kurios gali išlaikyti veikimą tokiomis sąlygomis. Dėl puikių PBN keraminio disko šiluminių ir cheminių savybių jis yra tinkamas pasirinkimas pagrindams ir kitiems galios elektroninių sistemų komponentams, kurie prisideda prie šių įrenginių efektyvumo ir ilgaamžiškumo.

Boro nitrido struktūros