Puslaidininkių gamyba, šiuolaikinės technologinės pažangos kertinis akmuo, nuolatos siekia mažesnių, greitesnių ir efektyvesnių integrinių grandynų. Šis nenumaldomas siekis skatina vis tikslesnius ir sudėtingesnius gamybos procesus, kai kiekvienas žingsnis labai priklauso nuo didelio našumo, aukštos......
Skaityti daugiauElektrostatiniai griebtuvai (ESC) tapo nepakeičiami puslaidininkių gamyboje ir plokščiųjų ekranų gamyboje, siūlydami nepažeistą, labai kontroliuojamą subtilių plokštelių ir substratų laikymo ir padėties nustatymo būdą svarbių apdorojimo etapų metu. Šiame straipsnyje gilinamasi į ESC technologijos su......
Skaityti daugiau3C-SiC, reikšmingo silicio karbido politipo, sukūrimas atspindi nuolatinę puslaidininkinių medžiagų mokslo pažangą. Devintajame dešimtmetyje Nishino ir kt. pirmą kartą buvo sukurta 4 μm storio 3C-SiC plėvelė ant silicio pagrindo, naudojant cheminį nusodinimą iš garų (CVD)[1], padėjus 3C-SiC plonaslu......
Skaityti daugiau