Elektrostatinio griebtuvo (ESC) struktūra

AnElektrostatinis griebtuvas (ESC)yra įtaisas, naudojamas puslaidininkinėms plokštelėms laikyti vietoje tokių procesų kaip ėsdinimas, nusodinimas ar poliravimas. Jis veikia generuodamas elektrostatinį lauką, kad pritrauktų ir saugiai laikytų plokštelę ant griebtuvo paviršiaus, užtikrinant stabilumą ir tikslų išlygiavimą naudojant plokštelę. ESC yra plačiai naudojami puslaidininkių gamyboje, siekiant pagerinti proceso tikslumą ir plokštelių tvarkymo efektyvumą.

Tikrasis įprastinio įvaizdiselektrostatinis griebtuvas (ESC)yra pavaizduotas paveiksle. Pagrindinis modelių skirtumas yra izoliacinio sluoksnio medžiaga ant elektrostatinio griebtuvo paviršiaus. Paveikslėlyje tamsi spalva reiškia aliuminio nitridą, o balta - aliuminio oksidą. Struktūraelektrostatinis griebtuvassusideda iš kelių dalių:

1. **Izoliacinis sluoksnis**: šis sluoksnis liečiasi su plokštele, paprastai pagaminta iš aliuminio nitrido arba aliuminio oksido keramikos dėl puikaus mechaninio stiprumo, atsparumo aukštai temperatūrai ir gero šilumos laidumo.

2. **Išstūmimo kaištis ir dujų anga**: išstūmimo kaištis skirtas plokštelei perkelti. Kai plokštelė patenka į ėsdinimo kamerą, išstūmimo kaištis pakyla, kad jį paremtų, o tada nusileidžia, kad padėtų plokštelę ant elektrostatinio griebtuvo paviršiaus. Ežektoriaus kaištis paprastai turi tuščiavidurę struktūrą, leidžiančią įvesti helio dujas, kurios padėtų atvėsti plokštelę.

3. **Back He Flow Channel**: šis komponentas pagerina šilumos išsklaidymą ir palengvina plokštelės adsorbciją.

4. **Elektrostatinis elektrodas**: šis elektrodas sukuria elektrinį lauką, kuris sukuria elektrostatinę jėgą, reikalingą plokštelei išlaikyti. Paprastai elektrodas yra plokščias ir yra įterptas į izoliacinę medžiagą arba nusodintas ant jos. Dažniausiai naudojamos laidžios medžiagos yra aliuminis, varis ir volframas.

5. **Cirkuliuojantis aušinimo vanduo ir šildymo elektrodas**: šie elementai pirmiausia yra atsakingi už bendrą elektrostatinio griebtuvo temperatūros kontrolę. Šildymo elektrodas ir cirkuliuojantis aušinimo vanduo veikia kartu, kad palaikytų stabilią plokštelės temperatūrą. Pasitikėjimas tik cirkuliuojančiu aušinimo vandeniu gali lemti nesugebėjimą valdyti ėsdinimo proceso metu susidariusios šilumos, o tai gali pakenkti proceso stabilumui.  

Semicorex siūlo aukštos kokybėsElektrostatinis griebtuvas (ESC). Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com