Kas yra žemos temperatūros plazminis ėsdinimas?

Plazma yra ketvirtoji materijos būsena ir atlieka lemiamą vaidmenį tiek pramonėje, tiek gamtos reiškiniuose. Pavyzdžiui, plazmos yra žaibuose ir jos gausiai susidaro saulės paviršiuje, kur šerdies temperatūra pasiekia stulbinamą 13 500 °C. Ši aukštos temperatūros plazma netinka daugeliui pramoninių gamybos procesų.

Kita vertus, žemos temperatūros plazma yra dirbtinai sukurta plazmos forma, kuri naudoja energiją, o ne šilumą, kad pagreitintų chemines reakcijas. Jo temperatūra paprastai svyruoja nuo kambario temperatūros iki kelių šimtų laipsnių Celsijaus, todėl ji yra labai efektyvi įvairioms reikmėms.

Dirbtinės plazmos generavimo veiksmai:

1. Sumažinkite slėgį kameroje: pradėkite naudodami vakuuminį siurblį, kad sumažintumėte slėgį ertmėje. Norint stabilizuoti plazmą ir palengvinti dujų jonizaciją, būtina pasiekti žemą slėgį.

2. Įveskite proceso dujas: į ertmę įpurkškite specifines proceso dujas. Šios dujos yra pagrindinis dalelių šaltinis plazmoje.

3. Sužadinkite plazmą: naudokite galią, kad jonizuotų dujas, efektyviai formuodami plazmą.

4. Deaktyvuokite plazmą ir atkurkite atmosferos slėgį: kai baigsis norimos reakcijos, išjunkite plazmą ir grąžinkite kamerą į atmosferos slėgį.

Žemos temperatūros plazmos pritaikymas puslaidininkių gamyboje:

Žemos temperatūros plazma yra nepakeičiama puslaidininkių gamyboje, atliekanti svarbias sausojo ėsdinimo, fizinio nusodinimo garais (PVD), cheminio garų nusodinimo (CVD), atominio sluoksnio nusodinimo (ALD), jonų implantavimo, pelenų ir galutinio taško aptikimo funkcijas. Dėl universalumo ir efektyvumo jis yra pagrindinis įrankis pramonėje.

Semicorex pasiūlymaiaukštos kokybės plazminio ėsdinimo sprendimai. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com