Vidinis kreipiamasis vamzdis

„Semicorex Inner Guide Tube“ yra tiksliai sukurtasanglis/anglis (C/C) komponentassukurtas pažangioms aukštos temperatūros šiluminio lauko reikmėms, ypač auginant didelio grynumo silicio kristalus. Kaip kritinis elementas kristalų auginimo krosnyse, šis komponentas atlieka pagrindinį vaidmenį formuojant ir stabilizuojant šiluminį gradientą, užtikrinant optimalų kristalų susidarymą ir pastovią medžiagos kokybę.

Pagaminta iš didelio tankio anglies pluoštu sustiprinto anglies kompozito, vidinis kreipiamasis vamzdis pasižymi išskirtiniu struktūriniu vientisumu ir terminiu stabilumu ekstremaliomis sąlygomis. ≥1,35 g/cm³ tankis ir ≥110 MPa lenkimo stipris išlaiko mechaninį tvirtumą net ir ilgai veikiant aukštai temperatūrai. Šios savybės yra būtinos puslaidininkinio silicio gamyboje, kur net nedideli šiluminių sąlygų svyravimai gali reikšmingai paveikti kristalų vienodumą ir defektų dažnį.

Pagrindinės funkcijos: tikslus gradiento valdymas

Pagrindinis C/C vidinio kreipiamojo vamzdžio vaidmuo yra sukurti tikslų gradiento temperatūros lauką. Silicio kristalų augimo proceso metu jis yra tiesiai virš lydalo, kad:

Tiesioginis dujų srautas: jis nukreipia inertinių argono dujų srautą, užtikrindamas, kad silicio oksido (SiO) garai būtų efektyviai nuvalomi nuo lydalo paviršiaus, užkertant kelią deguonies užteršimui kristale.

Šiluminis ekranavimas: jis apsaugo augantį kristalą nuo tiesioginės šilumos spinduliuotės iš tiglio sienelių, sukurdamas staigų ašinį temperatūros gradientą, reikalingą greitam, aukštos kokybės kristalų traukimui.

Energijos efektyvumas: koncentruojant šilumą lydymosi zonoje ir izoliuojant viršutinius krosnies komponentus, tai žymiai sumažina bendrą energijos suvartojimą.

Techninės specifikacijos ir medžiagų kokybė

Mūsų vidiniai kreipiamieji vamzdžiai gaminami naudojant didelio tankioAnglies / anglies kompozitai, suteikianti geresnę alternatyvą tradiciniam grafitui. Medžiagos savybės yra optimizuotos ekstremalioms puslaidininkinių vakuuminių krosnių sąlygoms:

Tankis: ≥ 1,35 g/cm³

Lenkimo stipris: ≥ 110 MPa

Šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Šilumos laidumas (patalpos temperatūra): ≤ 10 W/(m·K)

Pramonė

Pramonei einant prie didesnių plokštelių dydžių (300 mm ir 450 mm), šiluminio lauko reikalavimai didėja eksponentiškai. Mūsų vidiniai kreipiamieji vamzdžiai yra suderinami su pagrindiniais CZ krosnių prekių ženklais ir gali būti pritaikyti pagal geometriją ir dangą.