Grafitinis šildytuvas karštai zonai

„Semicorex“ grafito šildytuvas karštai zonai, suprojektuotas patikimai veikti aukštos temperatūros krosnyse, yra sukurtas taip, kad atlaikytų sudėtingas sąlygas, būdingas tokiems procesams kaip cheminis nusodinimas garais (CVD), epitaksija ir atkaitinimas aukštoje temperatūroje. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti didelio našumo grafito šildytuvą karštajai zonai, kuris suderina kokybę ir ekonomiškumą.**

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Homogeninis temperatūros pasiskirstymas:Graphite Heater For Hot Zone garsėja vienodomis šildymo charakteristikomis, pasiekiamomis derinant kruopštų medžiagų apdorojimą ir precizišką apdirbimą. Šis homogeniškumas užtikrina vienodą temperatūros profilį visame šildymo paviršiuje, sumažindamas šiluminius gradientus, dėl kurių gali atsirasti netolygus plokštelių apdorojimas, sumažėti išeiga ir nenuoseklus įrenginio veikimas.

Išskirtinis atsparumas korozijai:Grafitinis šildytuvas karštai zonai demonstruoja nepaprastą atsparumą įvairioms korozinėms dujoms ir cheminėms medžiagoms, dažniausiai sutinkamoms apdorojant aukštoje temperatūroje puslaidininkius. Šis būdingas inertiškumas užtikrina ilgalaikį šildytuvo stabilumą ir veikimą, sumažina užteršimo riziką ir pailgina eksploatavimo trukmę.

Aukščiausias atsparumas oksidacijai:Skirtingai nuo įprasto grafito, grafito šildytuvas karštai zonai pasižymi puikiu atsparumu oksidacijai net esant aukštesnei temperatūrai. Ši charakteristika yra labai svarbi norint išlaikyti šildytuvo vientisumą ir užkirsti kelią kietųjų dalelių užteršimui apdorojimo kameroje.

Itin aukštas cheminis grynumas:Graphite Heater For Hot Zone apdorojamas taip, kad būtų pasiektas itin aukštas grynumo lygis, sumažinant nepageidaujamų teršalų patekimo į puslaidininkių apdorojimo aplinką riziką. Šis išskirtinis grynumas yra būtinas norint išlaikyti subtilių puslaidininkinių medžiagų vientisumą ir užtikrinti norimas elektrines ir optines pagamintų prietaisų savybes.

Didelis mechaninis stiprumas ir stabilumas:Grafitinis šildytuvas karštai zonai pasižymi puikiu mechaniniu stiprumu ir matmenų stabilumu aukštesnėje temperatūroje, todėl galima pagaminti tvirtus šildytuvo komponentus, galinčius atlaikyti aukštą temperatūrą, įskaitant terminį ciklą ir mechaninį įtempimą.