Grafito elektrodas

Semicorex grafito elektrodai pasižymi išskirtiniu elektros laidumu, kuris palengvina efektyvų energijos tiekimą su minimaliais nuostoliais, be to, jie pasižymi puikiu šilumos laidumu, leidžiančiu greitai vienodai perduoti šilumą krosnyje. Mažo šiluminio plėtimosi ir didelio mechaninio stiprumo derinys sumažina deformaciją ir įtrūkimus šiluminio ciklo metu, o tai užtikrina stabilų elgesį per ilgą tarnavimo laiką. Kiekvienas elektrodas yra apdirbtas laikantis griežtų matmenų leistinų nuokrypių ir puikios paviršiaus apdailos, kad būtų užtikrintas pastovus kontaktas ir nereikšminga kontaktinio paviršiaus elektrinė varža.

Grafitinis elektrodas yra pagamintas iš aukštos kokybės smulkiagrūdžio grafito medžiagos, kiekvienas iš jų pagamintas naudojant pažangią ekstruzijos, aukštos temperatūros karbonizacijos ir grafitinimo seką. Grafitinė mikrostruktūra skirta maždaug pastoviai elektrinei varžai, aukštam šilumos laidumui ir mechaniniam stabilumui. Galutinis produktas yra didelio grynumo šilumos laidininkas, kuris palaiko fizinę būklę ir vienodą srovės paskirstymą didelės galios aplinkoje, taip pat greitus temperatūros svyravimus.

Ultra Performance mūsųgrafitas

Mūsų grafitas garantuoja puikų vienodumą. Pirma, karbonizacijos proceso metu mūsų krosnyse yra tik 115 kubinių metrų. Mūsų techninė komanda stebi grafito gaminių temperatūros lauką skirtingose ​​kiekvienos krosnies vietose. Pradinėje žemos temperatūros stadijoje (0-200°C) temperatūrą kontroliuojame ±10°C, o aukštoje (virš 600°C) – ±1°C. Mes ne tik stebime temperatūros lauką tarp skirtingų grafito dalelių, bet ir kiekvienos atskiros grafito gabalo paviršiaus bei vidinę temperatūrą, kontroliuojame ją ± 3 °C ribose. Kiekvienoje karbonizacijos krosnyje stebime 8 temperatūros taškus.

užtikrina neįtikėtinai mažą metalinių priemaišų (ir dujinių priemaišų) kiekį, dažnai daugiau nei 99,999 % anglies. Toks mažas priemaišų kiekis padeda išvengti puslaidininkinių plokštelių užteršimo terminio apdorojimo metu. Kartu su dideliu apdirbimo gyliu ir poliruoto paviršiaus apdaila, Semicorex grafito elektrodai atitinka pažangiausių plokštelių gamybos technologijų mechaninį ir cheminį stabilumą.

Puslaidininkio šiluminiame lauke grafito elektrodas yra svarbi šildymo mazgo dalis, nukreipianti elektros srovę į šildymo zoną ir leidžianti kontroliuoti temperatūros pasiskirstymą konkrečiame procese, pavyzdžiui, oksidacijos, difuzijos, LPCVD ar epitaksijos metu. Grafito elektrodas turi atlikti patikimą veikimą esant aukštesnei nei 2000°C temperatūrai, ir tai turi būti atsparus oksidacijai, deformacijai ar kaitinimo vietos užteršimui.

Semicorex grafito elektrodai pasižymi išskirtiniu elektros laidumu, kuris palengvina efektyvų energijos tiekimą su minimaliais nuostoliais, be to, jie pasižymi puikiu šilumos laidumu, leidžiančiu greitai vienodai perduoti šilumą krosnyje. Mažo šiluminio plėtimosi ir didelio mechaninio stiprumo derinys sumažina deformaciją ir įtrūkimus šiluminio ciklo metu, o tai užtikrina stabilų elgesį per ilgą tarnavimo laiką. Kiekvienas elektrodas yra apdirbtas laikantis griežtų matmenų leistinų nuokrypių ir puikios paviršiaus apdailos, kad būtų užtikrintas pastovus kontaktas ir nereikšminga kontaktinio paviršiaus elektrinė varža.

Atsižvelgdama į konkrečius puslaidininkinių procesų reikalavimus, Semicorex gali sukurti individualius elektrodų dizainus, kurie atitiktų bet kokią krosnies konfigūraciją ir galios specifikaciją. Galimi įvairūs skersmenys, ilgiai, jungčių tipai arba paviršiaus apdaila. Jei reikia, dangos medžiagos, pvz., SiC arba pirolizinė anglis, gali būti padengtos atsparumu oksidacijai ir eksploatavimo trukmei palaikyti aplinkoje, kurioje yra daug deguonies arba reaktyvių dujų.

Didelis grynumasgrafito medžiagaužtikrina neįtikėtinai mažą metalinių priemaišų (ir dujinių priemaišų) kiekį, dažnai daugiau nei 99,999 % anglies. Toks mažas priemaišų kiekis padeda išvengti puslaidininkinių plokštelių užteršimo terminio apdorojimo metu. Kartu su dideliu apdirbimo gyliu ir poliruoto paviršiaus apdaila, Semicorex grafito elektrodai atitinka pažangiausių plokštelių gamybos technologijų mechaninį ir cheminį stabilumą.

Nepriklausomai nuo to, ar naudojamas difuzinėse krosnyse, epitaksiniuose reaktoriuose ar aukštos temperatūros apdorojimo įrangoje, Semicorex grafito elektrodas užtikrina neprilygstamą našumą reikliausioje šiluminėje aplinkoje. Derindama aukštą grynumą, tikslią geometriją ir pažangų medžiagų apdorojimą, Semicorex pristato elektrodų sprendimą, kuris užtikrina stabilų srovės laidumą, pastovų šildymą ir ilgalaikį veikimo patikimumą, būtiną naujos kartos puslaidininkių gamybai.