Grafito tipas

„Semicorex“ grafito tipas yra kritiniai puslaidininkių gamybos proceso komponentai, ypač kristalų augimo etape. Šios aukštos kokybės talpyklos yra sukurtos taip, kad atlaikytų ekstremalias sąlygas, reikalingas didelio grynumo silicio ar junginių puslaidininkių kristalų gamybai naudojant tokius metodus kaip Czochralski (CZ) procesas arba plūdės zonos (FZ) technika.

Pagrindinė grafito kontrolierių funkcija yra atlaikyti ir palaikyti ypač aukštą temperatūrą, paprastai virš 2000 ° C, kai trečiosios kartos puslaidininkių medžiagos, tokios kaip silicio karbidas ir galio nitridas, dažnai sintetinami. Iš aukšto grynumo grafito pagaminti tiečiai pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, palaikančiai savo fizines ir chemines būsenas tokiu kraštutiniu lygiu, be jokio skilimo ar net metamorfozės. Geras šiluminis laidumas pagal grafito kryžiuočius reiškia, kad jie ne tik atliks šilumą vienodai, bet ir nustatys stabilų temperatūros lauką. Lydymosi ir kristalizacijos procesų metu tai yra svarbiausia, nes vienodas temperatūros pasiskirstymas leis augimo medžiagai daugiau ar mažiau lygiavertėmis sąlygomis, taigi sumažins kristalų defektus ir leis kokybiškus puslaidininkinius kristalus.

Silicio karbido ar galio nitrido kristalų augimo procesuose (tokiuose kaip garų fazės epitaksijos CVD arba fizinio garų transportavimo PVT), žaliavų laikymui naudojami grafito tiražai ir užtikrinti kontroliuojamą augimo aplinką. Cheminis tiglio inertiškumas užtikrina, kad jis chemiškai nereaguoja su puslaidininkine medžiaga aukštoje temperatūroje ir taip palaiko didelį medžiagos grynumą. Tuo pačiu metu geras grafito tiglio šilumos laidumas padeda sudaryti vienodą temperatūros gradientą, užtikrinant idealias kristalų augimo sąlygas ir sumažinant priemaišų bei struktūrinius defektus.

Grafito tipas cheminis inertiškumas yra pagrindinis puslaidininkių medžiagų gryninimo bruožas. Jos didelio grynumo grafito medžiaga gali atskirti išorinę taršą ir neleisti priemaišoms patekti į išlydytą puslaidininkinę medžiagą. Grafito tiglio paviršius taip pat gali būti padengtas (pvz., Silicio karbido danga), kad padidintų jo oksidacijos atsparumą ir atsparumą korozijai, dar labiau užtikrinant didelį grynumą ir didelį gamybos proceso stabilumą.