Stiklinė anglies danga

„Semicorex“ stiklinė anglies danga veltinis veikia kaip vidinis izoliacijos sluoksnis silicio karbido epitaksiniuose reaktoriuose. Tai yra aukštos kokybės izoliacijos medžiaga, skirta pažangiai šiluminei aplinkai. Šis produktas įveikia tipiškus puslaidininkių aukštos temperatūros gamybos iššūkius, siūlant aukštesnius sprendimus dėl savo lengvų ir puikių šiluminės izoliacijos savybių, susijusių sugrafito veltinis, kartu su paviršiaus vientisumu ir cheminiu inertiškumu, kurį sukelia stiklinė anglies danga.

Pagrindinė medžiaga yra didelis grynumasgrafito veltinispasirinko dėl savo mažo šilumos laidumo aukšto temperatūros stabilumo ir lengvo svorio. Įprastas grafito veltinis paprastai turi paviršiaus pluošto išsiskyrimą ir dalelių susidarymą esant aukštesnei temperatūrai, kuri gali užteršti proceso aplinką jautriose epitaksinėse sistemose. Siekiant sušvelninti šią problemą, grafito veltinio paviršius yra vienodai padengtas stiklinės anglies sluoksniu-tanki, nepooriška anglies forma, žinoma dėl savo cheminio inertiškumo, mažo dujų pralaidumo ir išskirtinio šiluminio stabilumo.

Stiklinė anglis yra ne grafituota anglis, sujungianti stiklo ir keramikos savybes. Priešingai nei kristalinis grafitas, jis yra amorfinė, beveik 100% SP2 hibridizuota anglies medžiaga, kurią sudaro polimerizuotų organinių pirmtakų, tokių kaip fenolio dervos, furfurilo alkoholio dervos ir kt. Kadangi jis yra juodas ir turi lygų paviršių, panašų į stiklą, jis vadinamas stikliniu anglimi.

Stiklinė anglies danga gali pašalinti krosnies dalelių generavimą, aprūpinti sandariomis paviršiaus poromis, turėti puikias smailias savybes ir sumažinti pralaidumą, todėl ši medžiaga yra labai tinkama nuolatinėms liejimo formoms ir produktams puslaidininkių pramonėje. Ši medžiaga turi platų pritaikymą puslaidininkių pramonėje, ypač grafito dalyse, tokiose kaip vieno krištolo silicio traukimo įrangos komponentai, epitaksiniai augimo komponentai, nepertraukiamos liejimo formos, stiklo sandarinimo striukės ir kt.

Stiklinės anglies atsparumas aukštam temperatūrai yra iki 3000 ° C inertinėse dujose ar vakuume, ir, skirtingai nei visos kitos keraminės ir metalinės aukštos temperatūros medžiagos, stiklinės anglies stiprumas didėja didėjant iki 2700 k, o ji netapa trapi ir turi ypač didelę šilumos atsparumą smūgiui, todėl trumpo šildymo ir aušinimo laikas nėra problema. Be to, stiklinė anglies masė turi mažą masę, silpną šilumos absorbciją ir mažą šiluminį išsiplėtimą, todėl ji tinka beveik visoms aukštos temperatūros pritaikymams.

Stiklinė anglies danga vaidina lemiamą vaidmenį užklijuojant grafito veltinio paviršiaus poras, žymiai sumažinant dalelių ir anglies dulkių išsiskyrimą veikimo metu. Tai ypač labai svarbu SiC epitaksinio augimo procesuose, kai net minimalus užterštumas gali pakenkti vaflių kokybei ir įrenginio veikimui. Įkepusi akytą veltinio struktūrą lygiu, kieto stikliniu anglies apvalkalu, danga užtikrina švarią ir stabilią šiluminę aplinką reakcijos kameroje.

Pagrindiniai stiklinės anglies dangos pranašumai yra::

Sumažėjęs dalelių išsiskyrimas: tanki danga efektyviai užfiksuoja laisvuosius pluoštus ir daleles, užkertant kelią vaflių ir reaktorių komponentų užterštumui.

Didelis šiluminis stabilumas: tiek grafito veltinis, tiek stiklinė anglis gali atlaikyti temperatūrą, viršijančią 2000 ° C, inertinėje ar vakuuminėje atmosferoje, todėl produktas yra idealus aukštos temperatūros SIC procesams.

Cheminis inertiškumas: Stiklinio anglies paviršius yra atsparus daugumai rūgščių ir ėsdinančias dujas, prailgindamas izoliacijos sluoksnio veikimo tarnavimo laiką atšiauriomis sąlygomis.

Patobulintas proceso nuoseklumas: Sumažinta dalelių generavimas prisideda prie stabilesnės ir pakartojamos epitaksinio augimo aplinkos, kuri yra būtina norint sukurti aukštos kokybės sic vaflius.

Stiklinės anglies dangos pritaikymas pirmiausia tęsiasi SiC epitaksinėmis augimo krosnimis, kur ji naudojama kaip šilumos izoliacijos sluoksnis karštoje zonoje. Produktas paprastai montuojamas kaip pamušalo medžiaga viršutinėje ar apatinėje izoliacijos krūvose, kur jis suteikia ir šiluminę apsaugą, ir švaros užtikrinimą.