Fused Quartz Ring

Semicorex lydyto kvarco žiedo taikymas puslaidininkių ėsdinimo srityje

Puslaidininkių ėsdinimo procesas yra esminis puslaidininkinių įtaisų gamybos etapas. Odinimo metu tam tikros plokštelės sritys yra selektyviai pašalinamos, kad būtų sukurti sudėtingi raštai. Šiam procesui reikalingos medžiagos, kurios gali atlaikyti ekstremalias sąlygas ir užtikrinti pastovų veikimą. Fused Quartz Ring sukurtas taip, kad atitiktų šiuos griežtus reikalavimus, užtikrinant, kad ėsdinimo procesas būtų tikslus, efektyvus ir patikimas.

Semicorex lydyto kvarcinio žiedo privalumai

1. Išskirtinis grynumas

SiO2 grynumas lydytame kvarco žiede yra vienas svarbiausių jo privalumų. Grynumo lygis svyruoja nuo 99,995% iki 99,999%, lydytas kvarcinis žiedas užtikrina minimalų užterštumą ir aukštos kokybės ėsdinimo rezultatus. Šis didelis grynumas yra labai svarbus puslaidininkių gamyboje, kur net mažiausios priemaišos gali turėti įtakos galutinio produkto veikimui ir patikimumui.

2. Puikus terminis stabilumas

Fused Quartz Ring sukurtas taip, kad atlaikytų ekstremalias temperatūras, jo darbinė temperatūra siekia iki 1250°C, o minkštėjimo temperatūra – 1730°C. Šis didelis terminis stabilumas leidžia lydytam kvarciniam žiedui išlaikyti savo struktūrinį vientisumą ir našumą esant intensyvioms karščio sąlygoms, su kuriomis dažniausiai susiduriama ėsdinimo procese.

3. Mažas plėtimosi koeficientas

Dėl itin mažo lydyto kvarcinio žiedo plėtimosi koeficiento jis yra labai atsparus šiluminiam smūgiui. Ši savybė yra labai svarbi ėsdinimo procese, kai gali įvykti staigūs temperatūros pokyčiai. Mažas plėtimosi koeficientas užtikrina, kad lydyto kvarco žiedas išliks stabilus ir patikimas, todėl sumažėja įtrūkimų ir kitų su šiluminiu įtempimu susijusių problemų rizika.

4. Cheminis atsparumas

Lydytas kvarcinis žiedas pasižymi puikiu atsparumu rūgštims ir šarmams. Šis cheminis atsparumas užtikrina, kad lydytas kvarcinis žiedas gali atlaikyti atšiaurias ėsdinimo proceso sąlygas, išlaikant jų veikimą ir ilgaamžiškumą ilgą laiką.

5. Be mikro burbuliukų ir mažas hidroksilo kiekis

Mikro burbuliukų nebuvimas ir mažas hidroksilo kiekis lydytame kvarco žiede užtikrina pastovų ir patikimą veikimą. Mikro burbuliukai ir didelis hidroksilo kiekis gali sukelti ėsdinimo proceso defektus ir užteršimą, o tai turi įtakos galutinio produkto kokybei ir patikimumui.

6. Mažas šilumos laidumas ir dielektrinė konstanta

Lydyto kvarco žiedas turi labai mažą šilumos laidumą ir dielektrinę konstantą, taip pat mažiausią nuostolių tangentą iš beveik visų žinomų medžiagų. The low thermal conductivity helps to dissipate heat effectively, reducing the risk of thermal damage to the wafer. Maža dielektrinė konstanta ir nuostolių liestinė užtikrina, kad mūsų kvarciniai žiedai užtikrina puikią elektros izoliaciją, sumažina elektros trukdžių riziką ir pagerina bendrą ėsdinimo proceso efektyvumą.