Lydyto kvarco pjedestalas

Puslaidininkių gamyboje lydyto kvarco pjedestalas yra atrama kvarciniam laivui, kuriame laikomos plokštelės. Palaikydamas pastovią temperatūrą, jis padeda pasiekti vienodą plonasluoksnės plėvelės nusodinimą, kuris yra esminis puslaidininkinių įtaisų veikimo ir patikimumo veiksnys. Pjedestalas užtikrina tolygų šilumos ir šviesos pasiskirstymą proceso kameroje, taip pagerindamas bendrą nusodinimo proceso kokybę.

Lydyto kvarco medžiagos privalumai

1. Atsparumas aukštai temperatūrai

Lydyto kvarcinio pjedestalo minkštėjimo temperatūra yra maždaug 1730 °C, todėl jis gali atlaikyti ilgalaikį naudojimą nuo 1100 °C iki 1250 °C temperatūroje. Be to, jis gali atlaikyti trumpalaikį net 1450 °C temperatūros poveikį.

2. Atsparumas korozijai

Lydyto kvarco pjedestalas yra chemiškai inertiškas daugumai rūgščių, išskyrus vandenilio fluorido rūgštį. Jo atsparumas rūgštims 30 kartų lenkia keramiką ir 150 kartų nerūdijančio plieno. Esant aukštesnei temperatūrai, jokia kita medžiaga negali prilygti lydyto kvarco cheminiam stabilumui, todėl tai yra idealus pasirinkimas atšiaurioje cheminėje aplinkoje.

3. Terminis stabilumas

Viena iš išskirtinių lydyto kvarcinio pjedestalo savybių yra minimalus šiluminio plėtimosi koeficientas. Ši savybė leidžia atlaikyti didelius temperatūros pokyčius be įtrūkimų. Pavyzdžiui, jį galima greitai įkaitinti iki 1100°C ir panardinti į kambario temperatūros vandenį nepažeidžiant – tai esminė ypatybė gamybos procesams, patiriantiems didelį stresą.

Gamybos procesas

Lydyto kvarcinio pjedestalo gamybos procesas yra kruopščiai kontroliuojamas, siekiant užtikrinti aukščiausius kokybės standartus. Pjedestalai gaminami termiškai formuojant ir suvirinant 10 000 ar aukštesnės klasės švariose patalpose. Vėlesnis valymas itin grynu vandeniu (18 MΩ)toliau užtikrina produkto grynumą ir veikimą. Kiekvienas lydyto kvarco pjedestalas yra kruopščiai tikrinamas, valomas ir pakuojamas 1000 ar aukštesnės klasės švarioje patalpoje, kad atitiktų griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus.

Aukšto grynumo nepermatoma kvarco medžiaga

Siekiant efektyviai blokuoti šilumą ir šviesą, lydyto kvarco pjedestalas naudoja labai gryną nepermatomą kvarcinę medžiagą. Unikalios šios medžiagos savybės pagerina pjedestalo gebėjimą išlaikyti stabilią ir vienodą temperatūrą proceso kameroje, taip užtikrinant pastovią plonos plėvelės nusodinimo ant plokštelių kokybę.

Platus pritaikymo spektras

Dėl išskirtinių lydyto kvarcinio pjedestalo savybių jis tinkamas įvairiems tikslams puslaidininkių pramonėje. ALD procesuose jis palaiko tikslų plonos plėvelės augimo valdymą atominiu lygmeniu, o tai būtina pažangių puslaidininkinių įtaisų gamybai. LPCVD procesų metu pjedestalo šiluminis stabilumas ir šviesos blokavimo galimybės prisideda prie vienodo plėvelės nusodinimo, pagerina įrenginio veikimą ir našumą.

Difuzijos procesuose lydyto kvarcinio pjedestalo atsparumas aukštai temperatūrai ir cheminis inertiškumas užtikrina patikimą ir nuoseklų puslaidininkinių medžiagų legiravimą. Šie procesai yra labai svarbūs nustatant puslaidininkinių įtaisų elektrines savybes, o norint pasiekti optimalių rezultatų, būtina naudoti aukštos kokybės medžiagas, tokias kaip lydytas kvarcas.