Tiglio atraminis padėklas

Aukštos temperatūros puslaidininkių gamyboje stabilumas ir tikslumas yra labai svarbūs siekiant užtikrinti pastovią kristalų kokybę. Semicorex Crucible Support Tray atlieka gyvybiškai svarbų, tačiau dažnai nepastebimą vaidmenį palaikant kristalų augimo proceso vientisumą, nes yra patikimas pagrindas esant ekstremalioms šiluminėms ir mechaninėms sąlygoms.

Crucible Support Tray, taip pat žinomas kaip aanglis / anglis (C/C)tiglio laikiklis, yra specialiai sukurtas palaikyti kvarcinius arba grafitinius tiglius, kai auga monokristalinis silicis. Šis komponentas, esantis šiluminio lauko pagrinde, turi atlaikyti ilgalaikį aukštų temperatūrų poveikį, išlaikant konstrukcijos vientisumą ir matmenų stabilumą. Jo tvirta konstrukcija užtikrina, kad tiglis išliks saugiai padėtas viso proceso metu, sumažinant vibraciją, deformaciją ar nesutapimą, galintį neigiamai paveikti kristalų kokybę.

C/C atraminio dėklo vaidmuo

Monokristaliniam siliciui augant temperatūra dažnai viršija 1400°C. Tradicinės grafito medžiagos, nors ir naudingos, dažnai susiduria su iššūkiais dėl eksploatavimo trukmės ir deformacijos esant dideliam išlydyto silicio svoriui. Mūsų C/C kompozitinio tiglio atraminis padėklas išsprendžia šiuos skausmo taškus.

Naudojant didelio stiprumo anglies pluoštu sustiprintą matricą, šis padėklas pasižymi "beveik nuliu" šiluminio plėtimosi profiliu ir išskirtine laikomoji galia. Jis tarnauja kaip sąsaja tarp tiglio ir besisukančio veleno, išlaikant idealiai lygią plokštumą, kad būtų išvengta lydalo turbulencijos ir kristalų defektų.

Techninės specifikacijos ir medžiagų kokybė

Tankis: ≥ 1,3 g/cm³

Lenkimo stipris: ≥ 110 MPa

Šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Stipris gniuždymui: ≥ 160 MPa