C/C šildytuvas

Pažangioje puslaidininkių ir fotovoltinėje gamyboje tikslus terminis valdymas yra būtinas norint sukurti aukštos kokybės kristalų struktūras. Semicorex C/C šildytuvas (anglies/anglies pagrindinis šildytuvas) sukurtas taip, kad užtikrintų išskirtinį šiluminį vienodumą ir stabilumą, todėl jis yra labai svarbus komponentas aukštos temperatūros kristalų auginimo sistemose.

Aukščiau parodytas C/C šildytuvas turi segmentuotą žiedinę struktūrą su tiksliai išpjautomis plyšiais, sukurtas optimizuoti srovės paskirstymą ir šiluminę spinduliuotę. Ši konfigūracija leidžia labai tolygiai generuoti šilumą visoje šildymo zonoje, efektyviai sumažindama šiluminius gradientus ir palaikydama nuoseklias kristalų augimo sąlygas. Jis plačiai naudojamas tokiuose procesuose kaip monokristalinio silicio (CZ metodas) ir polikristalinio silicio gamyboje, kur temperatūros tikslumas tiesiogiai veikia medžiagos kokybę ir išeigą.

Tradiciniai grafito šildytuvai dažnai kovoja su mechaniniu ilgaamžiškumu ir termine deformacija per pasikartojančius aukštos temperatūros ciklus.C/C kompozitai, sustiprintas didelio stiprumo anglies pluoštu, yra puiki alternatyva. Naudodamas anglies pluoštu sustiprintą anglies matricą, C/C šildytuvas išlaiko išskirtinį struktūrinį vientisumą, tuo pačiu užtikrindamas tikslius temperatūros gradientus, reikalingus lydalo ir kietos medžiagos sąsajai valdyti silicio luito augimo metu.

Pagrindinės specifikacijos:

Tankis: ≥1,50 g/cm³

Šilumos laidumas (RT): ≥40 W/(m·K)

Elektrinė varža (RT): 20–30 μΩ·m

Elektrinė varža (aukšta temperatūra): 14–20 μΩ·m

Pagrindiniai silicio augimo pranašumai

1. Išskirtinis terminis vienodumas

Pagrindinė C/C pagrindinio šildytuvo funkcija yra užtikrinti simetrišką šilumos paskirstymą. Kai auga monokristalinis silicis, net nedidelis temperatūros gradiento svyravimas gali sukelti deguonies nusodinimo problemų arba išnirimų. Mūsų šildytuvų pluoštu sustiprinta struktūra užtikrina, kad šiluma būtų tolygiai išspinduliuojama per tiglį, skatinant stabilų augimo greitį.

2. Padidintas cheminis grynumas

Užterštumas yra puslaidininkių efektyvumo priešas. Mūsų C/C šildytuvuose atliekami aukštos temperatūros valymo procesai, siekiant užtikrinti, kad pelenų kiekis būtų kuo mažesnis (paprastai <20 ppm). Tai apsaugo nuo metalinių priemaišų išplovimo į silicio lydalą, užtikrinant didelę varžą ir nešiklio tarnavimo laiką, reikalingą N arba P tipo plokštelėms.

3. Ilgaamžiškumas ir ekonomiškumas

Palyginti su standartiniu izostatiniu grafitu,C/C kompozitaituri daug didesnį stiprumo ir svorio santykį. Jie yra labai atsparūs šiluminiam smūgiui ir netampa trapūs po ilgo naudojimo aukštesnėje nei 1500 ℃ temperatūroje. Dėl tokio patvarumo sumažėja krosnies išardymas ir mažesnės bendros gamybos sąnaudos.

Taikymas puslaidininkių pramonėje

Nors dažniausiai naudojami kaip centrinis šildymo elementas silicio stalčiuose (CZ krosnyse), šie C/C šildytuvai taip pat yra neatskiriami:

Polisilicio redukcinės krosnys: užtikrina stabilią šilumą cheminio garų nusodinimo procesui.

Aukštos temperatūros vakuuminės krosnys: pažangioms keraminėms medžiagoms sukepinti ir atkaitinti.