Kuo svarbios silicio karbido valtys?

Puslaidininkių gamyboje, be pagrindinės proceso įrangos, tokios kaip fotolitografija ir ėsdinimas, proceso stabilumui lemiamą vaidmenį vaidina dar vienas pagrindinių komponentų tipas:vaflių valtis.

Ypač pastaraisiais metais, plėtojant aukštos temperatūros procesus ir trečios kartos puslaidininkius, silicio karbido plokštelės, pagamintos iš silicio karbido, tyliai tampa pramonės standartais.

Taigi, kokį vaidmenį šis, atrodytų, nereikšmingas komponentas vaidina puslaidininkių gamyboje?

01 Pagrindinės vaflių valties funkcijos

Vaflinė valtis yra proceso laikiklis, naudojamas plokštelėms laikyti, pirmiausia naudojamas aukštos temperatūros apdorojimo įrangoje.

Puslaidininkių gamybos procese plokštelėse atliekami keli terminio apdorojimo etapai, tokie kaip difuzija, oksidacija, atkaitinimas ir cheminis nusodinimas garais (CVD). Šių procesų metu plokštelės paprastai apdorojamos partijomis į krosnies vamzdžių įrangą, o vaflių valtis atlieka šias funkcijas:

- Kelių plokštelių palaikymas ir stabilaus tarpo palaikymas

- Plokščių padėties stabilumo užtikrinimas aukštos temperatūros aplinkoje

- Vienodo dujų srauto užtikrinimas kartu su įranga

Vaflinio laivo struktūra ir medžiagos savybės tiesiogiai veikia šiluminio lauko pasiskirstymą ir proceso nuoseklumą.

02 Silicio karbido valčių konstrukcinės charakteristikos

Silicio karbido valtyspaprastai naudojamas rėmo dizainas, užtikrinantis aukštą konstrukcijos stabilumą. Tipiškos funkcijos apima:

- Daugiasluoksnė lizdo struktūra, skirta tiksliai nustatyti plokštelių padėtį

- Atviras dizainas, užtikrinantis lengvą dujų srautą tarp plokštelių

- Didelio tvirtumo rėmas sumažina deformacijos riziką esant aukštai temperatūrai

Priklausomai nuo įrangos tipo, laivai gali būti suprojektuoti kaip vertikalios arba horizontalios konstrukcijos ir išlaikyti skirtingų dydžių plokšteles (pvz., 6 colių, 8 colių, 12 colių).

03 Medžiagos pasirinkimas: kodėlSilicio karbidas?

Puslaidininkių procesams tobulėjant aukštesnėms temperatūroms ir didesnei švarai, tradicinių medžiagų, tokių kaip kvarcas ir aliuminio oksidas, vis labiau nepakanka. Priešingai, silicio karbidas turi pranašumų dėl kelių eksploatacinių matmenų.

1. Atsparumas aukštai temperatūrai: Silicio karbidas pasižymi geru struktūriniu stabilumu maždaug nuo 1200 ℃ iki 1400 ℃ temperatūros diapazone. Esant tam tikroms didelio grynumo arba specialioms proceso sąlygoms, jis gali būti naudojamas dar aukštesnės temperatūros aplinkoje. Aukštoje temperatūroje jis neturi lydymosi ar reikšmingo minkštėjimo reiškinių, panašių į metalines medžiagas.

2. Didelis šilumos laidumas: silicio karbidas pasižymi dideliu šilumos laidumu, kuris padeda sumažinti temperatūrų skirtumus tarp plokštelių ir taip pagerinti proceso nuoseklumą.

3. Žemas šiluminio plėtimosi koeficientas: Silicio karbidas turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, kuris sumažina šiluminio įtempimo poveikį plokštelėms šildymo ir aušinimo procesų metu.

4. Cheminis stabilumas: Silicio karbidas pasižymi geru cheminiu stabilumu įvairiose atmosferose, įskaitant oksiduojančią ir redukuojančią atmosferą. Tačiau aukštos temperatūros deguonies aplinkoje jis vis tiek vyks lėtos oksidacijos reakcijos metu, sudarydamas apsauginį silicio dioksido sluoksnį.

5. Medžiagos grynumo ir užterštumo kontrolė: puslaidininkinio tipo silicio karbidas paprastai turi griežtai kontroliuojamą priemaišų kiekį, kad sumažintų plokštelės paviršiaus užteršimo riziką. Yra didelių skirtumų tarp skirtingų procesų rūšių naudojamų medžiagų.

04 Taikymo sritys

Silicio karbido valtys šiuo metu plačiai naudojamos įvairiose srityse, įskaitant:

- Terminis apdorojimas integrinių grandynų gamyboje

- Galios puslaidininkinių įrenginių (pvz., SiC įrenginių) gamyba

- Fotovoltinių silicio plokštelių apdorojimas aukštoje temperatūroje

- Puslaidininkinių medžiagų ir procesų tyrimai ir plėtra

Jo pranašumai dar ryškesni tais atvejais, kai reikalinga aukšta temperatūra, stipri korozija arba aukšta švara.

Semicorex pasiūlymaiSiC vaflinės valtys, krosnių vamzdžiai, konsoliniai irklaiir tt aukštos temperatūros krosnyse. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com