Atkaitinimo procesai šiuolaikinėje puslaidininkių gamyboje

Technologiniams mazgams ir toliau mažėjant, itin seklių sankryžų susidarymas kelia didelių iššūkių. Terminis atkaitinimas, įskaitantGreitasis terminis atkaitinimas (RTA)ir blykstės lempos atkaitinimas (FLA) yra gyvybiškai svarbūs metodai, kurie palaiko aukštą priemaišų aktyvavimo greitį ir sumažina difuziją ir užtikrina optimalų įrenginio veikimą.

1. Itin sekli sankryžos forma:

Technologiniams mazgams mažėjant, itin seklių jungčių formavimas tampa vis sudėtingesnis. Tokios technologijos kaip greitas terminis atkaitinimas (RTA) ir blykstės lempos atkaitinimas (FLA) yra labai svarbūs norint pasiekti didelį priemaišų aktyvavimo greitį, tuo pačiu sumažinant difuziją ir taip užtikrinant optimalų įrenginio veikimą.

2. Aukštos k-vartų dielektrikų modifikavimas:

Atkaitinimas po nusodinimo (PDA) žymiai pagerina aukštos k vartų dielektrikų elektrines savybes. Šis procesas sumažina vartų nuotėkio sroves ir padidina dielektrines konstantas, kurios yra gyvybiškai svarbios pažangiems loginiams ir atminties įrenginiams.

3. Metalų silicidų susidarymas:

Metalų silicidų, tokių kaip CoSi ir NiSi, optimizavimas yra būtinas norint pagerinti kontaktinį ir tūrinį atsparumą. Tikslus atkaitinimo sąlygų valdymas palengvina idealių lydinio fazių sukūrimą, padidindamas bendrą įrenginio efektyvumą.

4. 3D integravimo technologijos:

Tokiose technologijose kaip 3D NAND ir 3D DRAM atkaitinimo procesai turi būti taikomi keliuose sluoksniuose. Greitos šiluminės technologijos atlieka pagrindinį vaidmenį užtikrinant, kad kiekvienas sluoksnis būtų optimalus.

Atkaitinimas yra labai svarbus puslaidininkių gamyboje, leidžiantis atitaisyti grotelių pažeidimus, suaktyvinti priemaišas, modifikuoti plėvelę ir formuoti metalo silicidą tiksliai kontroliuojant temperatūrą, laiką ir šiluminį biudžetą. Technologiniams mazgams mažėjant, tokie pažangūs atkaitinimo metodai kaipRTA, FLA ir lazerinis smaigalių atkaitinimas tapo įprastais. Žvelgiant į ateitį, atkaitinimo procesas ir toliau bus diegiamas, kad atitiktų naujų medžiagų ir prietaisų poreikius.

„Semicorex“ siūlo pirmaujančią pramonėjeatkaitinimo tirpalai, užtikrinant, kad jūsų puslaidininkiniai įrenginiai tiksliai ir patikimai atitiktų aukščiausius našumo standartus.

Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com