Kas yra terminis atkaitinimas

Atkaitinimo procesas, taip pat žinomas kaip terminis atkaitinimas, yra esminis puslaidininkių gamybos etapas. Jis pagerina elektrines ir mechanines medžiagų savybes, veikiant silicio plokšteles aukštai temperatūrai. Pagrindiniai atkaitinimo tikslai yra ištaisyti grotelių pažeidimus, suaktyvinti priedus, modifikuoti plėvelės savybes ir sukurti metalų silicidus. Keletas įprastų atkaitinimo procesuose naudojamų įrenginių apima pritaikytas SiC dengtas dalis, pvzlaidotojas, viršeliaiir tt, kurią teikia Semicorex.

Pagrindiniai atkaitinimo proceso principai

Pagrindinis atkaitinimo proceso principas yra naudoti šiluminę energiją aukštoje temperatūroje, kad būtų pertvarkyti medžiagoje esantys atomai ir taip pasiekiami specifiniai fiziniai ir cheminiai pokyčiai. Tai daugiausia apima šiuos aspektus:

1. Grotelių pažeidimų taisymas:

  - Jonų implantacija: didelės energijos jonai bombarduoja silicio plokštelę jonų implantavimo metu, sugadindami gardelės struktūrą ir sukurdami amorfinę sritį.

  - Atkaitinimo taisymas: esant aukštai temperatūrai, atomai amorfinėje srityje persitvarko, kad būtų atkurta gardelės tvarka. Šiam procesui paprastai reikia maždaug 500 °C temperatūros diapazono.

2. Priemaišų aktyvinimas:

  - Priemaišų migracija: atkaitinimo proceso metu įšvirkšti priemaišų atomai migruoja iš intersticinių vietų į gardelės vietas, efektyviai sukurdami legiravimą.

  - Aktyvinimo temperatūra: priemaišų aktyvavimui paprastai reikia aukštesnės temperatūros, maždaug 950 °C. Aukštesnė temperatūra lemia didesnį priemaišų aktyvavimo greitį, tačiau per aukšta temperatūra gali sukelti pernelyg didelę priemaišų difuziją, o tai turi įtakos įrenginio veikimui.

3. Filmo modifikacija:

  - Tankinimas: atkaitinimas gali sutankinti birią plėvelę ir pakeisti jų savybes sauso arba šlapio ėsdinimo metu.

  - Didelės k vartų dielektrikai: po nusodinimo atkaitinimas (PDA) po didelio k skląsčio dielektrikų augimo gali pagerinti dielektrines savybes, sumažinti užtvaro nuotėkio srovę ir padidinti dielektrinę konstantą.

4. Metalo silicido susidarymas:

  - Lydinio fazė: metalo plėvelės (pvz., kobalto, nikelio ir titano) reaguoja su siliciu ir sudaro lydinius. Skirtingos atkaitinimo temperatūros sąlygos lemia įvairių lydinio fazių susidarymą.

  - Veikimo optimizavimas: kontroliuojant atkaitinimo temperatūrą ir laiką, galima pasiekti lydinio fazes su mažu atsparumu kontaktui ir korpuso atsparumui.

Įvairūs atkaitinimo procesai

1. Atkaitinimas aukštoje temperatūroje krosnyje:

Savybės: Tradicinis atkaitinimo būdas su aukšta temperatūra (dažniausiai virš 1000°C) ir ilgu atkaitinimo laiku (kelios valandos).

Naudojimas: tinka naudoti, kai reikia didelio šiluminio biudžeto, pvz., SOI substrato paruošimui ir giliai n-šulinėlių difuzijai.

2. Greitas terminis atkaitinimas (RTA):

Savybės: Naudojant greito šildymo ir aušinimo ypatybes, atkaitinimas gali būti baigtas per trumpą laiką, paprastai esant maždaug 1000 °C temperatūrai ir per kelias sekundes.

Taikymas: ypač tinka ypač seklioms jungtims formuoti, gali veiksmingai sumažinti pernelyg didelę priemaišų difuziją ir yra nepakeičiama pažangios mazgų gamybos dalis.

3. Blykstės lempos atkaitinimas (FLA):

Savybės: naudokite didelio intensyvumo blykstės lempas, kad per labai trumpą laiką (milisekundėmis) įkaitintumėte silicio plokštelių paviršių, kad būtų pasiektas greitas atkaitinimas.

Naudojimas: tinka itin sekliam dopingo aktyvavimui, kai linijos plotis mažesnis nei 20 nm, o tai gali sumažinti priemaišų difuziją išlaikant aukštą priemaišų aktyvavimo greitį.

4. Atkaitinimas lazeriu (LSA):

Savybės: naudokite lazerio šviesos šaltinį, kad per labai trumpą laiką (mikrosekundėmis) pašildytumėte silicio plokštelės paviršių, kad būtų pasiektas lokalizuotas ir didelio tikslumo atkaitinimas.

Taikymas: ypač tinka pažangiems proceso mazgams, kuriems reikalingas didelio tikslumo valdymas, pvz., FinFET ir didelio k/metalinių vartų (HKMG) įrenginių gamybai.

Semicorex siūlo aukštos kokybėsCVD SiC/TaC dangos dalysterminiam atkaitinimui. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com