Epitaksinis plokštelių procesas yra labai svarbus puslaidininkių gamybos metodas. Tai apima plono kristalinės medžiagos sluoksnio augimą ant pagrindo, kurio kristalinė struktūra ir orientacija yra tokia pati kaip substratas. Šis procesas sukuria aukštos kokybės sąsają tarp dviejų medžiagų ir leidžia kurti pažangius elektroninius prietaisus.

Epitaksinės plokštelės procesas naudojamas gaminant įvairius puslaidininkinius įrenginius, įskaitant diodus, tranzistorius ir integrinius grandynus. Procesas paprastai atliekamas naudojant cheminio nusodinimo garais (CVD) arba molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) metodus. Šie metodai apima medžiagos atomų nusodinimą ant pagrindo paviršiaus, kur jie sudaro kristalinį sluoksnį.

Epitaksinės plokštelės procesas yra sudėtingas ir tikslus metodas, reikalaujantis griežtos įvairių parametrų, tokių kaip temperatūra, slėgis ir dujų srautas, kontrolės. Epitaksinio sluoksnio augimas turi būti atidžiai kontroliuojamas, kad susidarytų aukštos kokybės kristalinė struktūra su mažu defektų tankiu.

Epitaksinės plokštelės proceso kokybė yra labai svarbi gauto puslaidininkinio įtaiso veikimui. Epitaksinis sluoksnis turi būti vienodo storio, mažo defektų tankio ir aukšto grynumo lygio, kad būtų užtikrintos optimalios elektroninės savybės. Epitaksinio sluoksnio storis ir dopingo lygis gali būti tiksliai kontroliuojami, kad būtų pasiektos norimos savybės, tokios kaip laidumas ir juostos tarpas.

Pastaraisiais metais epitaksinės plokštelės procesas tapo vis svarbesnis gaminant didelio našumo puslaidininkinius įrenginius, ypač galios elektronikos srityje. Didelio našumo prietaisų, turinčių didesnį efektyvumą ir patikimumą, paklausa paskatino pažangių epitaksinių plokštelių procesų kūrimą.

Epitaksinės plokštelės procesas taip pat naudojamas kuriant pažangius jutiklius, įskaitant temperatūros jutiklius, dujų jutiklius ir slėgio jutiklius. Šiems jutikliams reikalingi aukštos kokybės kristaliniai sluoksniai su specifinėmis elektroninėmis savybėmis, kurias galima pasiekti naudojant epitaksinį plokštelių procesą.