AlN kristalų auginimo metodai

AlN, kaip trečios kartos puslaidininkinė medžiaga, yra ne tik svarbi mėlynos ir ultravioletinės šviesos medžiaga, bet ir svarbi elektroninių prietaisų ir integrinių grandynų pakuotė, dielektrinė izoliacinė ir izoliacinė medžiaga, ypač tinkanti aukštos temperatūros ir didelės galios įrenginiams. . Be to, AlN ir GaN turi gerą šiluminį suderinamumą ir cheminį suderinamumą, AlN naudojamas kaip GaN epitaksinis substratas, gali žymiai sumažinti GaN įrenginių defektų tankį, pagerinti įrenginio veikimą.

Dėl patrauklių pritaikymo perspektyvų aukštos kokybės, didelio dydžio AlN kristalų paruošimas sulaukė didžiulio tyrėjų dėmesio šalyje ir užsienyje. Šiuo metu AlN kristalai ruošiami tirpalo metodu, tiesioginiu aliuminio metalo nitridavimu, hidrido dujų fazės epitaksija ir fiziniu garų fazės transportavimu (PVT). Tarp jų PVT metodas tapo pagrindine AlN kristalų auginimo technologija, pasižyminčia dideliu augimo greičiu (iki 500-1000 μm/h) ir aukšta kristalų kokybe (dislokacijos tankis mažesnis nei 103 cm-2).

AlN kristalų augimas PVT metodu atliekamas sublimuojant, pernešant dujinę fazę ir perkristalizuojant AlN miltelius, o augimo aplinkos temperatūra siekia net 2 300 ℃. Pagrindinis AlN kristalų auginimo PVT metodu principas yra gana paprastas, kaip parodyta šioje lygtyje:

2AlN(-ai) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Pagrindiniai augimo proceso etapai yra šie: (1) AlN neapdorotų miltelių sublimacija; 2) žaliavos dujinės fazės komponentų transportavimas; (3) dujų fazės komponentų adsorbcija ant augimo paviršiaus; (4) paviršiaus difuzija ir branduolių susidarymas; ir (5) desorbcijos procesas [10]. Esant standartiniam atmosferos slėgiui, AlN kristalai pradeda lėtai skilti į Al garus ir azotą tik maždaug 1 700 ℃ temperatūroje, o AlN skilimo reakcija greitai suintensyvėja, kai temperatūra pasiekia 2 200 ℃.

TaC medžiaga yra tikra naudojama AlN kristalų augimo tiglio medžiaga, turinti puikias fizines ir chemines savybes, puikų šilumos ir elektros laidumą, atsparumą cheminei korozijai ir gerą atsparumą šiluminiam smūgiui, o tai gali veiksmingai pagerinti gamybos efektyvumą ir tarnavimo laiką.

Semicorex siūlo aukštos kokybėsTaC dangos gaminiaisu pritaikyta paslauga. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com