2023-09-11
Difuzinė krosnis yra specializuota įranga, naudojama priemaišoms į puslaidininkines plokšteles kontroliuoti kontroliuojamu būdu. Šios priemaišos, vadinamos priemaišomis, keičia puslaidininkių elektrines savybes, todėl galima gaminti įvairių tipų elektroninius komponentus. Šis kontroliuojamas difuzijos procesas yra labai svarbus gaminant tranzistorius, diodus ir integrinius grandynus.
Difuzinės krosnys susideda iš kelių pagrindinių komponentų, įskaitant proceso vamzdžius, šildymo elementus, oro įsiurbimo mechanizmus ir valdymo sistemas. Proceso vamzdis veikia kaip kamera, kurioje dedama plokštelė. Jis gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir ėsdinančias dujas, todėl yra ideali medžiaga šiam naudojimui.
Kaitinimo elementai, suteikia reikiamą šilumą, kad pakeltų krosnies temperatūrą iki norimo lygio. Temperatūra difuzinėse krosnyse paprastai siekia 1200 °C. Siekiant užtikrinti vienodą šildymą, kaitinimo elementai dažnai yra išdėstyti sraigtinės formos.
Dujų įleidimo mechanizmas naudojamas pridedant dujoms į krosnį. Įprasti priedai yra boras, fosforas ir arsenas, atsižvelgiant į norimas galutinio puslaidininkinio produkto elektrines savybes. Valdymo sistema reguliuoja legiruojančių dujų srautą, išlaikant tikslią difuzijos proceso kontrolę.
Difuzinės krosnys plačiai naudojamos puslaidininkių pramonėje. Jie naudojami dopingo procese, kuris sukuria pn jungtis tranzistoriuose ir dioduose. Difuzinės krosnys taip pat atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį gaminant integrinius grandynus, kur yra sukrauti ir sujungti keli skirtingų puslaidininkių sluoksniai.
Be to, difuzinės krosnys yra būtinos gaminant pažangius puslaidininkinius įtaisus, tokius kaip galios MOSFET (metalo oksido puslaidininkių lauko efekto tranzistoriai) ir izoliuotų vartų dvipoliai tranzistoriai (IGBT). Šie prietaisai yra tokie svarbūs galios elektronikos ir atsinaujinančios energijos technologijose, kad difuzinės krosnys yra neatsiejama jų gamybos dalis.
Difuzinės krosnys yra svarbios puslaidininkių gamybos priemonės, leidžiančios kontroliuoti priemaišų įvedimą į puslaidininkines plokšteles. Šios krosnys yra neatsiejama įvairių puslaidininkinių įtaisų, tokių kaip tranzistoriai, diodai ir integriniai grandynai, gamybos dalis. Tobulėjant technologijoms, difuzinių krosnių galimybės ir toliau didėja, todėl gamybos procesai yra tikslesni ir patikimesni. Puslaidininkių pramonė labai priklauso nuo šių krosnių, kad patenkintų augančią pažangios elektroninės įrangos paklausą.
Semicorex gamina pritaikytas SiC dalis difuzinėms krosnims. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.
Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907
paštas: sales@semicorex.com