Kas yra plazminis pjaustymas?

Kas yra plazminis pjaustymas?

Plokščių pjaustymas yra paskutinis puslaidininkių gamybos proceso etapas, kai silicio plokštelės padalijamos į atskirus lustus (taip pat vadinamus štampais). Tradiciniais metodais naudojami deimantiniai peiliukai arba lazeriai, kad būtų išpjaunamos gabalėliais tarp drožlių, atskiriant jas nuo plokštelės. Plazminiam pjaustymui naudojamas sausas ėsdinimo procesas, siekiant išgraviruoti medžiagą pjaustymo gatvėse per fluoro plazmą, kad būtų pasiektas atskyrimo efektas. Tobulėjant puslaidininkių technologijoms, rinka vis dažniau reikalauja mažesnių, plonesnių ir sudėtingesnių lustų. Plazminis pjaustymas pamažu pakeičia tradicinius deimantinius peiliukus ir lazerinius sprendimus, nes gali pagerinti našumą, gamybos pajėgumus ir dizaino lankstumą, tapdamas pirmuoju puslaidininkių pramonės pasirinkimu.

Plazminis pjaustymas kubeliais naudoja cheminius metodus medžiagoms iš pjaustymo gatvėse pašalinti. Nėra mechaninių pažeidimų, šiluminio įtempimo ir fizinio poveikio, todėl lustai nebus pažeisti. Todėl lustai, atskirti naudojant plazmą, turi žymiai didesnį atsparumą lūžiams nei tie kauliukai, naudojantys deimantinius peiliukus ar lazerius. Šis mechaninio vientisumo pagerinimas yra ypač vertingas lustams, kurie naudojimo metu patiria fizinį krūvį.

Plazminiai kubeliai gali labai pagerinti lustų gamybos efektyvumą ir lustų išeigą vienoje plokštelėje. Deimantiniai peiliukai ir pjaustymas lazeriu reikalauja pjaustyti po vieną išilgai įbrėžimo linijų, o plazminis pjaustymas gali apdoroti visas įbrėžimo linijas vienu metu, o tai labai pagerina lustų gamybos efektyvumą. Plazminio pjaustymo kubeliais fiziškai neriboja deimantinio ašmenų plotis ar lazerio taško dydis, todėl pjaustymo gatvelės gali susiaurėti, todėl iš vienos plokštelės galima išpjauti daugiau drožlių. Šis pjovimo būdas išlaisvina plokštelių išdėstymą nuo tiesios pjovimo trajektorijos apribojimų, todėl suteikiama daugiau lankstumo kuriant drožlių formą ir dydį. Taip visiškai išnaudojamas plokštelių plotas, išvengiant situacijos, kai plokštelės plotas turi būti paaukotas mechaniniam pjaustymui. Tai žymiai padidina lustų išeigą, ypač mažo dydžio lustams.

Plazminis pjaustymas kubeliais naudoja cheminius metodus medžiagoms iš pjaustymo gatvėse pašalinti. Nėra mechaninių pažeidimų, šiluminio įtempimo ir fizinio poveikio, todėl lustai nebus pažeisti. Todėl lustai, atskirti naudojant plazmą, turi žymiai didesnį atsparumą lūžiams nei tie kauliukai, naudojantys deimantinius peiliukus ar lazerius. Šis mechaninio vientisumo pagerinimas yra ypač vertingas lustams, kurie naudojimo metu patiria fizinį krūvį.

Nepaisant daugybės privalumų, plazminis pjaustymas taip pat kelia iššūkių. Jo sudėtingas procesas reikalauja didelio tikslumo įrangos ir patyrusių operatorių, kad būtų užtikrintas tikslus ir stabilus pjaustymas. Be to, aukšta plazmos pluošto temperatūra ir energija kelia didesnius reikalavimus aplinkos kontrolei ir saugos priemonėms, o tai padidina jo taikymo sunkumus ir išlaidas.