Žinant konsolinį irklą

Apdorojimo metu puslaidininkinės plokštelės paprastai turi būti kaitinamos specializuotoje krosnyje. Tokios krosnys paprastai susideda iš ilgų, plonų cilindrinių vamzdžių. Plokštelės krosnyje ir reaktoriuje yra išdėstytos taip, kad jos būtų išdėstytos išilgai plokštumos, apibrėžtos apskrito krosnies arba reaktoriaus skerspjūvio, ir būtų išdėstytos viena nuo kitos iš anksto nustatytuose, paprastai vienodais atstumais, taškuose išilgai centrinės reaktoriaus ašies. krosnis ar reaktorius. Kad būtų pasiekta tokia padėtis, plokštelės paprastai dedamos ant laikiklių su plyšiais, vadinamais vaflių laiveliais, kurie išdėsto plokšteles išilgai centrinės ašies.

Mažos valtys, kuriose yra apdorotų plokštelių partijos, dedamos ant ilgų konsolinių mentelių, per kurias galima įkišti ir ištraukti vamzdines krosnis ir reaktorius. Tokios irklos paprastai turi plokščią laikiklio dalį, ant kurios galima pastatyti vieną ar daugiau mažų valčių, ir ilgą rankeną, esančią viename plokščios laikiklio dalies gale, kuria galima valdyti irklas. Tarp rankenos ir laikiklio dalies paprastai suformuojama pereinamoji dalis, kad jos būtų vientisos. Be to, rankena turi išsikišti iš krosnies arba reaktoriaus, kad būtų galima manipuliuoti ja ir vafliniu laivu.

Vaflinio laivo padėtis krosnyje arba reaktoriuje yra svarbi, nes pageidautina, kad kiekvienos plokštelės centras būtų kuo arčiau krosnies arba reaktoriaus centrinės ašies, kad būtų pasiektos vienodos apdorojimo sąlygos, kurioms taikomos plokštelės. Todėl menteles lenkiant dėl ​​laivo, gabenančio plokšteles, svorio, reikia atsižvelgti į irklo konstrukciją, juolab, kad irklas palaikomas tik viename gale, t.y. gale, kuris išsikiša iš krosnies kameros. Be to, kad atsižvelgiama į irklo konstrukciją, atsirandančią dėl eksploatacinio svorio reikalavimų, taip pat turi būti naudojamas spaustuvų rinkinys, skirtas tiksliai išlaikyti išplėstinį irklo galą. Šie gnybtai turi būti gana tvirti, kad irklas išliktų tiksliai norimoje padėtyje, tuo pat metu jas būtų paprasta naudoti ir sumažintų irklų pažeidimo galimybę suspaudimo metu.

Todėl buvo reikalingas konsolinis irklas, kurį būtų galima naudoti su didesne apkrova, tuo pačiu išlaikant suderinamumą su esamomis tvirtinimo sistemomis. Taip pat reikėjo konsolinės irklos, kuri pasižymėtų priimtinomis įlinkio charakteristikomis per visą svorio apkrovų diapazoną, su kuriuo ją būtų galima naudoti.

CAnti-lever irklas rekomenduojama naudoti perkristalizuotą silicio karbidą su plonu CVD SiC sluoksniu, kuris yra labai grynas ir geriausias pasirinkimas puslaidininkių apdirbimo komponentams.

Semicorex gali suteiktiaukštos kokybėskonsoliniai irklaiirindividualizuotos paslaugos pagal brėžinius ir darbo aplinką.