Kodėl verta rinktis SiC dengtus grafito susceptorius?

Grafito susceptoriusyra viena iš esminių MOCVD įrangos dalių, yra plokštelės pagrindo laikiklis ir šildytuvas. Jo šiluminio stabilumo ir terminio vienodumo savybės turi lemiamą reikšmę plokštelių epitaksinio augimo kokybei, o tai tiesiogiai lemia sluoksnio medžiagų vienodumą ir grynumą, todėl jo kokybė tiesiogiai veikia epitaksijos paruošimą. Tuo tarpu, didėjant panaudojimų skaičiui ir keičiantis darbo sąlygoms, jį labai lengva pamesti ir priklauso eksploatacinėms medžiagoms. Dėl puikaus grafito šilumos laidumo ir stabilumo jis yra geras privalumaspagrindinis MOCVD įrangos komponentas. Tačiau jei naudojamas tik grynas grafitas, susidurs su tam tikromis problemomis. Gamybos procese bus korozinių dujų ir metalo organinių likučių, o grafito pagrindas surūdys ir nukris milteliai, o tai labai sumažins įrenginio tarnavimo laiką.grafito susceptorius, o iškritę grafito milteliai taip pat tarš lustai, todėl pagrindo paruošimo procese taip pat Šios problemos turi būti išspręstos pagrindo ruošimo metu. Dengimo technologija gali užtikrinti paviršiaus miltelių fiksavimą, padidinti šilumos laidumą ir išlyginti šilumos pasiskirstymą, o tai tampa pagrindine šios problemos sprendimo technologija. Pagrindinė technologija yra šios problemos sprendimas. Pagal taikymo aplinką ir reikalavimusgrafito susceptoriai, paviršiaus danga turi turėti šias charakteristikas.

Didelis tankis ir pilnas įvyniojimas: grafito pagrindas kaip visuma yra aukštoje temperatūroje, korozinėje aplinkoje, paviršius turi būti visiškai apvyniotas, o danga turi būti gero tankio, kad atliktų gerą apsauginį vaidmenį.

Geras paviršiaus plokštumas: kadangi grafito pagrindui, naudojamam monokristalų auginimui, reikalingas labai didelis paviršiaus lygumas, paruošus dangą turi būti išlaikytas pirminis pagrindo lygumas, t.y. dangos paviršius turi būti vienodas.

Geras sukibimo stiprumas: Sumažinus grafito pagrindo ir dangos medžiagos šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą, galima efektyviai pagerinti sukibimo stiprumą tarp jų, o dangą nėra lengva įtrūkti po aukštos ir žemos temperatūros terminių ciklų.

Aukštas šilumos laidumas: aukštos kokybės drožlių augimui reikalinga greita ir vienoda grafito pagrindo šiluma, todėl dangos medžiaga turi turėti didelį šilumos laidumą.

Aukšta lydymosi temperatūra, aukštos temperatūros oksidacija ir atsparumas korozijai: danga turi stabiliai veikti aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.