Silicio karbido vaflių valtis

Už kiekvieno aukštos temperatūros proceso vaflių gamyboje yra tylus, tačiau esminis žaidėjas: vaflių valtis. Kaip pagrindinis nešiklis, kuris tiesiogiai liečiasi su silicio plokštele atliekant vaflių apdorojimą, jo medžiaga, stabilumas ir švara yra tiesiogiai susiję su galutiniu lusto išeiga ir proceso stabilumu. Tarp įvairių nešiklio medžiagų,Silicio karbidas (sic)Laivai palaipsniui keičia tradicinius kvarco sprendimus, tapdami pageidaujamu sprendimu pažengusiems procesams ir aukščiausios klasės įrangai.

Kodėl „SiC Wafer“ valtys?

Tobulėjant proceso mazgams žemiau 7Nm ir išplėsdami aukštos temperatūros proceso langus, tradiciniai kvarco vaflių valtys vis labiau kovoja dėl šiluminio stabilumo, dalelių valdymo ir gyvenimo trukmės valdymo.

Tačiau silicio karbido vaflių valtys pamažu populiarėja dėl šių pranašumų:

1.Slandinis aukštoje temperatūroje:

Jie siūlo ilgalaikę 1350–1600 ° C darbo temperatūrą, lengvai tvarkydami pagrindinius procesus, tokius kaip CVD, difuzija ir atkaitinimas. Net trumpas 1800 ° C temperatūros poveikis nėra minkštinimas ar deformacija, todėl jie yra tinkami aukštesnės klasės įrangai, tokioms kaip vieno kristalo silicio karbido krosnys.

2. Linkos išplėtimas ir didelis šiluminio smūgio stabilumas:

Esant mažam šiluminio išsiplėtimo koeficientui, jie gali atlaikyti greitą temperatūros padidėjimą ir sumažėjimą, sumažindami struktūrinį įtrūkimą, kurį sukelia šiluminis stresas. Jie palaiko puikią morfologiją ir efektyvumą aukštos temperatūros, sudėtingos atmosferos (tokios kaip vandenilis, azotas, amoniakas ir fluoridai).

3.Clean paviršius ir ypač mažas užterštumas:

Didelis medžiagos grynumas su minimaliomis metalo priemaišomis. Mažas paviršiaus šiurkštumas, užkertantis kelią antriniam silicio vaflių užterštumui; Puikus paviršiaus šiurkštumo kontrolė, kai RA yra mažesnė nei 0,1 μm, slopina dalelių išsiskyrimą ir atitinka pažangių procesų švarios kambario reikalavimus;

4. Vieno dalies liejimas, Tiksliau pagamintos vaflinės valčių konstrukcijos gali būti tiesiogiai suformuotos per be pietų3D spausdinimas, pašalinant pelėsių poreikį, žymiai pagerinant pritaikymo efektyvumą; Kartu su penkių ašių apdirbimo ir vielos pjaustymo technologija, valties dantys yra be apmušalų, neleidžiant įbrėžimams ant vaflių ir užtikrinant sklandų automatinį valdymą;

5. Didelė jėga ir ilgas gyvenimas: 

Viena valtis gali pasigirti dideliu atstumu ir gali būti palaikoma dešimtys iki šimtų 12 colių vaflių. Palyginti su tradicinėmis kvarco valtimis, vidutinė valties gyvenimo trukmė yra 5–10 kartų ilgesnė, sumažinant įrangos keitimo dažnį ir bendrą nuosavybės išlaidas.

Taikymo scenarijus

Platus pritaikomumasSilicio karbido vaflių valtysIšplečia jų taikymą už puslaidininkių lauko ribų iki įvairių aukštos temperatūros proceso scenarijų, įskaitant naujas energijos medžiagas, LED gamybą ir branduolinės energijos tyrimus.

Puslaidininkių pramonė

Jis tinka pagrindiniams procesams, tokiems kaip oksidacija, difuzija, CVD nusėdimas ir jonų implantacija, todėl tai yra nepakeičiamas aukštos temperatūros nešiklis, skirtas 7NM proceso linijoms.

Fotoelektros pramonė

Kylančiose akumuliatorių technologijose, tokiose kaip „TopCon“ ir „HJT“, „Wafer“ valtys yra naudojamos aukštos temperatūros krosnių procesuose, tokiuose kaip LPCVD ir atkaitinimas, padedant pagerinti energijos vartojimo efektyvumą ir konvertavimo rodiklius.

Trečiosios kartos puslaidininkiai

Gano ir SiC epitaksinio augimo procesams LEDS jie palaiko safyrą ar silicio karbido substratus. Jie atlaiko ėsdinančias dujas, tokias kaip NH₃ ir HCl, palaikantys aukšto dažnio galios prietaisų gamybą.

Naujos energijos medžiagos ir tyrimų aukštos temperatūros platforma

Palaiko ličio akumuliatoriaus katodo medžiagų sukepinimo reakciją ir terminį branduolinių pramonės medžiagų apdorojimą, derinant atsparumą šilumai, atsparumą korozijai ir švarą.

„Semicorex“ siūlo didelę grynumąIndividualūs „SiC Wafer“ valtys. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com