Įvairūs kvarco pritaikymai puslaidininkių gamyboje

Iš pirmo žvilgsnio,kvarco (SiO2) medžiagaatrodo labai panašus į stiklą, tačiau ypatingas yra tai, kad įprastą stiklą sudaro daug komponentų (pvz., kvarcinis smėlis, boraksas, boro rūgštis, baritas, bario karbonatas, kalkakmenis, lauko špatas, natrio karbonatas ir kt.), o kvarce yra tik SiO2, o jo mikrostruktūra yra paprastas tinklas, sudarytas iš silicio dioksido tetraedrinių struktūrinių vienetų.

Kadangi metalo priemaišų kiekis, esantiskvarcasyra labai mažas, o jo grynumas itin aukštas, pats kvarcas turi savybių ir privalumų, kurių negali parodyti kiti stiklai, ir yra žinomas kaip stiklo medžiagų „vainikas“. Pavyzdžiui, kalbant apie atsparumą karščiui, kvarcas nesprogs net ir tuoj pat įdėtas į vandenį po to, kai bus raudonai nudegęs ugnyje. Konkretesni pranašumai yra šie:

1. Atsparumas aukštai temperatūrai. Kvarcinio stiklo minkštėjimo taškas yra apie 1730 ℃, jis gali būti naudojamas ilgą laiką esant 1150 ℃, o maksimali temperatūra trumpam gali siekti 1450 ℃.

2. Atsparumas korozijai. Išskyrus vandenilio fluorido rūgštį, didelio grynumo kvarcas beveik nereaguoja su kitomis rūgštinėmis medžiagomis. Esant aukštai temperatūrai, jis gali atsispirti korozijai nuo sieros rūgšties, azoto rūgšties, druskos rūgšties, vandens regio, neutralių druskų, anglies ir sieros. Jo atsparumas rūgštims yra 30 kartų didesnis nei keramikos ir 150 kartų didesnis nei nerūdijančio plieno. Ypač jo cheminis stabilumas aukštoje temperatūroje yra neprilygstamas jokioms kitoms inžinerinėms medžiagoms.

3. Geras terminis stabilumas. Didelio grynumo kvarcas turi labai mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir gali atlaikyti drastiškus temperatūros pokyčius. Kai didelio grynumo kvarcas kaitinamas iki maždaug 1100°C, jis nesprogs, kai įdėtas į kambario temperatūros vandenį.

4. Geras šviesos pralaidumas. Didelio grynumo kvarcas turi gerą šviesos pralaidumą visame spektre nuo ultravioletinių iki infraraudonųjų spindulių, o matomos šviesos pralaidumas yra didesnis nei 93%, ypač ultravioletinio spektro srityje, maksimalus pralaidumas gali siekti daugiau nei 80%.

5. Geros elektros izoliacijos savybės. Didelio grynumo kvarco atsparumas prilygsta 10 000 kartų įprasto kvarcinio stiklo atsparumui. Tai puiki elektros izoliacinė medžiaga ir pasižymi geromis elektrinėmis savybėmis net esant aukštai temperatūrai.

Dėl šių puikių fizinių ir cheminių savybių didelio grynumo kvarco medžiagos plačiai naudojamos šiuolaikinėse elektroninėse technologijose, puslaidininkiuose, komunikacijose, elektros šviesos šaltiniuose, saulės energija, didelio tikslumo krašto apsaugos matavimo prietaisai, laboratoriniai fizikiniai ir cheminiai prietaisai, branduolinė energija, nanopramonė ir kt. Ypač sparčiai besivystančioje puslaidininkių pramonėje silicio plokštelių mastas didėja, todėl lustų gamintojai turi didelę įvairių kvarco komponentų paklausą. Tačiau taip pat reikia atkreipti dėmesį į tai, kad norint išvengti užteršimo apdorojimo procese, naudojimo metu turi būti užtikrintas didelis kvarco medžiagos grynumas.

Puslaidininkių pramonėje,kvarcasyra plačiai naudojamas, o didelio grynumo kvarco gaminiai yra svarbios plokštelių gamybos medžiagos. Kvarcinėse dalyse, pvz., tigliai, krištoliniai laiveliai ir difuzinės krosnies šerdies vamzdžiai, naudojami silicio monokristalams gaminti, turi būti naudojami didelio grynumo kvarcinio stiklo gaminiai. Pagrindinis kvarco dalių panaudojimas puslaidininkių srityje yra difuzijos ir ėsdinimo procesas plokštelių liejykloje. Juos galima suskirstyti į dvi kategorijas: aukštos temperatūros zonos prietaisus ir žemos temperatūros zonos įrenginius. Pagrindiniai naudojami įrenginiai yra šie:

1. Aukštos temperatūros zonos įtaisai daugiausia yra krosnių vamzdžiai, stikliniai laiveliai ir kt., naudojami difuzinėje oksidacijoje ir kitose jungtyse, kurios turi tiesiogiai arba netiesiogiai liestis su silicio plokštelėmis aukštos temperatūros aplinkoje; jos daugiausia perkamos lydyto kvarcinio stiklo medžiagos ir gaminamos termiškai apdorojant;

2. Žemos temperatūros zonos prietaisai daugiausia apima ėsdinimo procese naudojamus kvarcinius žiedus, taip pat gėlių krepšelius ir valymo bakus, naudojamus valymo procese. Jie daugiausia naudojami žemos temperatūros aplinkoje. Jie daugiausia perka dujomis rafinuotą kvarcinį stiklą ir gaminami šalto apdorojimo būdu.

Semicorex siūlo aukštos kokybėskvarco dalyspuslaidininkių lygyje. Jei turite klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com