Akytų grafito medžiagų reikšmė SiC kristalų augimui

„Semicorex“ SiC kristalų auginimo krosnies komponentasakyta grafito statinė, duos tris pagrindinius privalumus ir gali veiksmingai sustiprinti vidaus konkurencingumąSiC substratai:

• Sumažinti SiC kristalų augimo komponentų kainą;
• Padidinkite SiC kristalo storį ir sumažinkite bendrą pagrindo kainą;
• Pagerinkite SiC kristalų išeigą ir padidinkite įmonių konkurencingumą.

Porėto grafito lakštų įdėjimas į SiC kristalų auginimo krosnis yra viena iš karščiausių pramonės taškų. Įrodyta, kad įterpus aporėtas grafitasLakštai virš SiC šaltinio miltelių, pasiekiamas geras masės perdavimas kristalų srityje, o tai gali pagerinti įvairias technines problemas, egzistuojančias tradicinėse kristalų auginimo krosnyse.

a) tradicinė kristalų auginimo krosnis, b) kristalų auginimo krosnis su porėtu grafito lakštu

Šaltinis: Dongui universitetas, Pietų Korėja

Eksperimentai parodė, kad naudojant tradicines kristalų auginimo krosnis, SiC substratai dažniausiai būna įvairūspolimorfai, pvz., 6H ir 15R-SiC, tuo tarpuSiC substrataiparuoštos tik naudojant akytas grafito kristalų auginimo krosnis4H-SiC monokristalas. Be to, žymiai sumažėja mikrovamzdelių tankis (MPD) ir ėsdinimo duobės tankis (EPD). Dviejų kristalų auginimo krosnių MPD yra atitinkamai 6-7EA/cm2 ir 1-2EA/cm2, o tai gali būtisumažėjo iki 6 kartų.

„Semicorex“ taip pat pradėjo naują „vienkartinio masės perdavimo“ procesą, pagrįstąakyto grafito lakštai. Porėtas grafitas turi labai gerąvalymo gebėjimas. Naujajame procese naudojamas naujas šiluminis laukas pirminiam masės perkėlimui, dėl kurio masės perdavimo efektyvumas pagerėjo ir iš esmės pastovus, taip sumažinant perkristalizacijos poveikį (išvengiant antrinio masės perdavimo), efektyviai sumažinant mikrovamzdelių ar kitų susijusių kristalų defektų riziką. Be to, akytasis grafitas taip pat yra viena iš pagrindinių technologijų, padedančių išspręsti SiC kristalų augimo ir storio problemą, nes jis gali subalansuoti dujų fazės komponentus, izoliuoti priemaišų pėdsakus, reguliuoti vietinę temperatūrą ir sumažinti fizines daleles, tokias kaip anglies įvyniojimas. Darant prielaidą, kad kristalą galima naudoti,kristalo storisgalima sumažinti. gali žymiai padidėti.

Techninės savybėsSemicorex porėtas grafitas:

Poringumas gali siekti iki 65%;

Poros pasiskirsto tolygiai;

Didelis partijos stabilumas;

Didelio stiprumo, gali pasiekti ≤1 mm itin ploną cilindro formą.

Semicorex siūlo aukštos kokybėsporėtas grafitasdalys. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com