Kas yra SiC padengtas grafito susceptorius?

Norėdami supažindinti suSiC dengtas grafito imtuvas, svarbu suprasti jo taikymą. Gaminant prietaisus, ant kai kurių plokštelių substratų reikia pastatyti papildomus epitaksinius sluoksnius. Pavyzdžiui, LED šviesą skleidžiantiems įrenginiams reikia paruošti GaAs epitaksinius sluoksnius ant silicio substratų; Nors SiC sluoksnį reikia auginti ant SiC substratų, epitaksinis sluoksnis padeda konstruoti įrenginius, skirtus elektros energijos tiekimui, pavyzdžiui, aukštai įtampai ir didelei srovei, pvz., SBD, MOSFET ir kt. Ir atvirkščiai, GaN epitaksinis sluoksnis yra pastatytas ant pusiau izoliuojančio SiC substratas, kad būtų galima toliau kurti įrenginius, tokius kaip HEMT radijo dažnio programoms, pvz., Ryšiams. Norėdami tai padaryti, aCVD įranga(be kitų techninių metodų). Ši įranga gali nusodinti III ir II grupės elementus bei V ir VI grupės elementus kaip augimo žaliavas ant pagrindo paviršiaus.

ĮCVD įranga, substratas negali būti dedamas tiesiai ant metalo arba tiesiog dedamas ant pagrindo epitaksiniam nusodinimui. Taip yra todėl, kad dujų srauto kryptis (horizontali, vertikali), temperatūra, slėgis, fiksacija, teršalų išsiskyrimas ir kt. yra veiksniai, galintys turėti įtakos procesui. Todėl ten, kur substratas dedamas ant disko, reikalingas susceptorius, o tada CVD technologija naudojama epitaksiniam nusodinimui ant pagrindo. Šis susceptorius yra SiC padengtas grafito susceptorius (taip pat žinomas kaip padėklas).

Thegrafito imtuvasyra esminis komponentasMOCVD įranga. Jis veikia kaip pagrindo nešiklis ir kaitinimo elementas. Jo terminis stabilumas, vienodumas ir kiti eksploataciniai parametrai yra svarbūs veiksniai, lemiantys epitaksinės medžiagos augimo kokybę ir tiesiogiai įtakojantys plonasluoksnės medžiagos vienodumą bei grynumą. Todėl kokybėgrafito imtuvasyra gyvybiškai svarbus ruošiant epitaksines plokšteles. Tačiau dėl susceptoriaus sunaudojamo pobūdžio ir besikeičiančių darbo sąlygų jis lengvai prarandamas.

Grafitas pasižymi puikiu šilumos laidumu ir stabilumu, todėl yra idealus pagrindasMOCVD įranga. Tačiau grynas grafitas susiduria su tam tikrais iššūkiais. Gamybos metu korozinių dujų ir metalo organinių medžiagų likučiai gali sukelti koroziją ir suspensiją, todėl labai sutrumpėja jo tarnavimo laikas. Be to, krintantys grafito milteliai gali užteršti lustą. Taigi šios problemos turi būti išspręstos ruošiant bazę.

Dengimo technologija – tai procesas, kuriuo galima pritvirtinti miltelius ant paviršių, padidinti šilumos laidumą ir tolygiai paskirstyti šilumą. Ši technologija tapo pagrindiniu šios problemos sprendimo būdu. Atsižvelgiant į naudojimo aplinką ir grafito pagrindo naudojimo reikalavimus, paviršiaus danga turi turėti šias charakteristikas:

1. Didelis tankis ir pilnas įvyniojimas: grafito pagrindas yra aukštos temperatūros, korozinėje darbo aplinkoje, o paviršius turi būti visiškai padengtas. Danga taip pat turi būti gero tankio, kad užtikrintų gerą apsaugą.

2. Geras paviršiaus plokštumas: kadangi grafito pagrindui, naudojamam pavienių kristalų auginimui, reikalingas didelis paviršiaus lygumas, po dangos paruošimo reikia išlaikyti pradinį pagrindo lygumą. Tai reiškia, kad dangos paviršius turi būti vienodas.

3. Geras sukibimo stiprumas: Sumažinus grafito pagrindo ir dangos medžiagos šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą, galima efektyviai pagerinti sukibimo stiprumą tarp dviejų. Patyrus aukštos ir žemos temperatūros terminius ciklus, dangą nesunku įtrūkti.

4. Aukštas šilumos laidumas: kokybiškam drožlių augimui reikalinga greita ir vienoda grafito pagrindo šiluma. Todėl dangos medžiaga turi turėti didelį šilumos laidumą.

5. Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai ir atsparumas korozijai: danga turi stabiliai veikti aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

Dabar,Silicio karbidas (SiC)yra tinkamiausia grafito dengimo medžiaga dėl išskirtinių savybių aukštos temperatūros ir korozinių dujų aplinkoje. Be to, jo artimas šiluminio plėtimosi koeficientas su grafitu leidžia jiems sudaryti tvirtus ryšius. Be to,Tantalo karbido (TaC) dangataip pat yra geras pasirinkimas ir gali stovėti aukštesnės temperatūros (> 2000 ℃) aplinkoje.

Semicorex siūlo aukštos kokybėsSiCirTaC padengti grafito susceptoriai. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com