Danga puslaidininkinių silicio monokristalų šiluminiame lauke

Padengtos puslaidininkinio silicio monokristalinio lauko dalys paprastai padengiamos CVD metodu, įskaitant pirolitinę anglies dangą,Silicio karbido dangairTantalo karbido danga, kiekvienas turi skirtingas savybes.

Bendri dalykai: substratas yra labai grynas izostatinis grafitas, paprastai pelenų yra mažiau nei 5 ppm; dengimui naudojamas CVD metodas; danga iš esmės yra 100% anglies arba silicio karbido; po padengimo paviršius yra gana tankus, dujos, ypač krosnies silicio garai arba silicio oksido dujos, iš esmės gali būti užblokuotos; jo paties dulkių lakavimas taip pat yra labai mažas.

Skirtumai: standartinis dangos storis, pirolitinė anglies danga paprastai yra apie 40 um; Silicio karbido danga paprastai atliekama apie 100 um, tačiau atsižvelgiant į skirtingus klientų poreikius, gali būti 30 um ~ 150 um, įskaitant vieną dangą ir dvi dangas; Tantalo karbido danga paprastai yra 35 ± 15 um.

Pirolitinė anglies danga, jos tankis prilygsta neakytai grafitui, kuris yra apie 2,2. Jis turi mažą varžą ir didelį šilumos laidumą lygiagrečia paviršiaus kryptimi, todėl gali išlaikyti paviršiaus temperatūros nuoseklumą, taip pat turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir aukštą elastingumo modulį. Paviršiaus statmena kryptimi šiluminio plėtimosi koeficientas didesnis, o šilumos laidumas mažesnis.

Silicio karbidu dengtų gaminių dangos tamprumo modulis yra labai didelis, dešimtis kartų didesnis nei vidinio grafito pagrindo tamprumo modulis, todėl norint išvengti gaminio plyšimo, su ja reikia elgtis švelniai.

Pirolitinės anglies dangos ir silicio karbido dangos visų priemaišų kiekis yra mažesnis nei 5 ppm, kai pagrindinio metalo elemento kiekis yra mažesnis nei 0,1 arba 0,01 ppm, sunkiau susidoroti su boro elementu yra 0,01 arba 0,15 ppm.

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybės CVD dangos gaminį puslaidininkiams su pritaikyta paslauga. Jei turite klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com