Kas yra SiC padengti grafito susceptoriai?

Padėklas (pagrindas), palaikantis SiC plokšteles, taip pat žinomas kaip "laidotojas"yra pagrindinė puslaidininkių gamybos įrangos sudedamoji dalis. O kas tiksliai yra šis susceptorius, pernešantis plokšteles?

Plokščių gamybos procese substratai turi būti toliau statyti su epitaksiniais sluoksniais prietaiso gamybai. Tipiški pavyzdžiai apimaLED spinduliuotės, kuriems reikalingi GaAs epitaksiniai sluoksniai ant silicio substratų; ant laidžių SiC substratų SiC epitaksiniai sluoksniai auginami tokiems įrenginiams kaip SBD ir MOSFET, naudojamiems aukštos įtampos ir didelės srovės įrenginiuose; įjungtapusiau izoliaciniai SiC pagrindai, GaN epitaksiniai sluoksniai yra sukurti tokiems įrenginiams kaip HEMT, naudojamiems radijo dažnių programose, pvz., Ryšyje. Šis procesas labai priklauso nuo CVD įrangos.

CVD įrangoje substratai negali būti dedami tiesiai ant metalo ar paprasto pagrindo epitaksiniam nusodinimui, nes tai susiję su įvairiais įtakojančiais veiksniais, tokiais kaip dujų srauto kryptis (horizontali, vertikali), temperatūra, slėgis, stabilumas ir teršalų pašalinimas. Todėl prieš naudojant CVD technologiją epitaksiniams sluoksniams ant pagrindo nusodinti, reikalingas pagrindas, ant kurio dedamas substratas. Ši bazė žinoma kaip aSiC dengtas grafito imtuvas(taip pat vadinamas pagrindu/dėklu/nešikliu).

SiC padengti grafito susceptoriai dažniausiai naudojami metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) įrangoje, kad būtų palaikomi ir šildomi monokristaliniai substratai. SiC dengtų grafito susceptorių šiluminis stabilumas ir vienodumas vaidina lemiamą vaidmenį nustatant epitaksinės medžiagos augimo kokybę, todėl jie yra svarbūs MOCVD įrangos komponentai.

MOCVD technologija šiuo metu yra pagrindinė GaN plonos plėvelės epitaksijos auginimo technika mėlynos šviesos diodų gamyboje. Jis siūlo tokius pranašumus kaip paprastas valdymas, kontroliuojamas augimo greitis ir didelis pagamintų GaN plonų plėvelių grynumas. GaN plonos plėvelės epitaksiniam augimui naudojami susceptoriai, kaip svarbus komponentas MOCVD įrangos reakcijos kameroje, turi turėti aukštą atsparumą temperatūrai, vienodą šilumos laidumą, gerą cheminį stabilumą ir stiprų atsparumą šiluminiam šokui. Grafitinės medžiagos gali atitikti šiuos reikalavimus.

Grafito susceptoriai yra vienas iš pagrindinių MOCVD įrangos komponentų ir tarnauja kaip substrato plokštelių nešikliai ir šilumos skleidėjai, tiesiogiai įtakojantys plonasluoksnių medžiagų vienodumą ir grynumą. Vadinasi, jų kokybė tiesiogiai įtakoja Epi-Vaflių ruošimą. Tačiau gamybos metu grafitas gali korozuoti ir suirti dėl korozinių dujų ir metalo organinių junginių likučių, o tai žymiai sumažina grafito susceptorių tarnavimo laiką. Be to, iškritę grafito milteliai gali užteršti drožles.

Dengimo technologijos atsiradimas suteikia šios problemos sprendimą, nes užtikrina paviršiaus miltelių fiksaciją, padidintą šilumos laidumą ir subalansuotą šilumos paskirstymą. MOCVD įrangos aplinkoje naudojamų grafito susceptorių paviršiaus danga turi turėti šias charakteristikas:

1. Galimybė pilnai uždengti grafito pagrindą gero tankio, nes grafito susceptorius yra jautrus korozijai korozinių dujų aplinkoje.

2. Stiprus sukibimas su grafito susceptoriumi, siekiant užtikrinti, kad danga lengvai neatsiskirtų po kelių aukštos ir žemos temperatūros ciklų.

3. Puikus cheminis stabilumas, kad danga netaptų neefektyvi aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. SiC turi pranašumų, tokių kaip atsparumas korozijai, didelis šilumos laidumas, atsparumas šiluminiam smūgiui ir didelis cheminis stabilumas, todėl jis idealiai tinka darbui GaN epitaksinėje atmosferoje. Be to, SiC šiluminio plėtimosi koeficientas yra labai artimas grafito koeficientui, todėl jis yra tinkamiausia medžiaga grafito susceptorių paviršiui padengti.

Semicorex gamina CVD SiC dengtus grafito susceptorius, gamina pritaikytas SiC dalis, tokias kaip vaflinės valtys, konsolinės mentelės, vamzdeliai ir kt. Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com