Struktūriniai skirtumai tarp skirtingų tipų reaktorių

Remiantis reakcijos kameros konfigūracija, terminio apdorojimo įranga (krosnių vamzdžių įranga) daugiausia skirstoma į tris kategorijas: vertikalius krosnies vamzdžius, horizontalius krosnies vamzdžius ir greito terminio apdorojimo (RTP) krosnis.

Vertikaliuose krosnies vamzdžiuose yra vertikaliai išdėstyti kvarciniai vamzdžiai, o plokštelės yra aplink vamzdžius šildymui. Pagrindiniai jų pranašumai yra vienodas temperatūros pasiskirstymas, tikslus atmosferos valdymas, aukšta automatizacija, mažesnis užterštumas kietosiomis dalelėmis, mažas plotas ir palaikymas paketiniam apdorojimui (ypač tinka 12 colių plokštelėms), todėl šiuo metu jie yra pagrindinė įranga. Pasaulinės rinkos dydis 2024 m. pasiekė 3,2 mlrd. USD (SEMI duomenys). Jų trūkumai yra lengvas dujų ir skysčių atskyrimas ir terpės srautas žemyn, dėl kurio krosnies vamzdis gali perdegti.

Horizontalūs krosnies vamzdžiai turi horizontaliai išdėstytus kvarcinius vamzdelius, vienu metu apdorojančius 100-200 plokštelių. Jų pranašumai yra vienodas dujų ir skysčių srautas krosnies vamzdyje ir tikslesnis temperatūros valdymas. Jų trūkumai yra didesnis plotas ir didesnis labai legiruoto plieno tarpinių vamzdžių atramų suvartojimas. Struktūriškai horizontalūs krosnies vamzdžiai plokšteles deda vertikaliai į horizontalius vamzdelius, kad būtų galima apdoroti.

Greitojo terminio atkaitinimo (RTP) krosnyse naudojamos halogeninės infraraudonųjų spindulių lempos, kad būtų galima greitai įkaitinti atskiras plokšteles, o tai užtikrina greitą šildymo ir aušinimo greitį, kuris keičia tik plokštelės temperatūrą, nekeičiant kameros temperatūros. Jie tinka greitam atkaitinimui mažomis partijomis, bet ne masinei gamybai.

Apdorojant plokšteles, horizontalūs krosnies vamzdžiai uždeda plokštelę ant kvarco valties, kuri savo ruožtu remiasi į silicio karbido (SiC) atraminį rėmą. Tada atraminis rėmas įstumiamas į kvarco krosnies vamzdį, kur plokštelė reaguoja pastovios temperatūros zonoje. Kita vertus, vertikaliuose krosnies vamzdžiuose plokštelė dedama ant kvarco bokšto ir lėtai pakeliama į kvarco krosnies vamzdį, kad būtų galima apdoroti. Po reakcijos plokštelė lėtai nuleidžiama, kad nesusilenktų ar nesulūžtų.

„Semicorex“ tiekia aukštos kokybės pagal užsakymąkvarco krosnies reaktorius. Mūsų gaminiai sukurti taip, kad užtikrintų puikų terminį stabilumą, ilgesnį tarnavimo laiką ir išskirtinį proceso nuoseklumą. Dėl pritaikytų sprendimų ar papildomos techninės informacijos susisiekite su mūsų inžinierių komanda.

Telefonas: +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com