Kokia yra fokusavimo žiedų funkcija?

Fokusavimo žiedai yra pagrindiniai komponentai, užtikrinantys puslaidininkių ėsdinimo procesų vienodumą ir stabilumą. Tiksliai valdydami elektrinius ir šiluminius laukus, fokusavimo žiedai gali sutelkti plazmą plokštelės paviršiuje ir užtikrinti nuoseklius ėsdinimo rezultatus visose plokštelės vietose.

Fokusavimo žiedų funkcijos

1. Pagerinkite oforto vienodumą

Odinimo procese fokusavimo žiedai gali sutelkti plazmą antvaflįpaviršius, kuris efektyviai garantuoja vienodą plazmos tankį, jonų bombardavimo kampą ir energijos lygius tiek plokštelės krašte, tiek centre. Jie koreguoja elektrinio lauko pasiskirstymą plokštelės krašte, sumažindami ėsdinimo greitį, kritinius matmenis ir morfologijos pokyčius, kuriuos sukelia briaunos efektai, taip užtikrindami ėsdinimo nuoseklumą visame plokštelės paviršiuje. Jei fokusavimo žiedas yra pernelyg susidėvėjęs arba židinio žiedo nėra, plazma išsisklaidys nuo plokštelės krašto, galiausiai sukeldama neatitinkančius linijos pločio nuokrypius tarp krašto ir centro sričių.

2. Apsaugokite elektrostatinį griebtuvą

Fokusavimo žiedai paprastai įrengiami už elektrostatinių griebtuvų plokštelių laikiklio paviršiaus, tiesiogiai veikiami plazmos bombardavimo ir korozijos. Ši įmontavimo sąranka yra fizinė kliūtis, neleidžianti plazmai liestis su elektrostatiniais griebtuvais ėsdinimo proceso metu ir taip žymiai sumažinti plazmos pažeidimo riziką. Fokusavimo žiedai taip pat gali neleisti šalutiniams produktams, atsiradusiems ėsdinimo proceso metu, prilipti prie elektrostatinių griebtuvų, taip išvengiant veikimo pablogėjimo dėl griebtuvo užteršimo ir užsikimšimo. Tai labai pailgina elektrostatinių griebtuvų priežiūros ciklą ir tarnavimo laiką, sumažinant įrangos priežiūros ir keitimo išlaidas.

Fokusavimo žiedai dažniausiai gaminami iš didelio grynumokvarcas, silicioirsilicio karbidasmedžiagų. Dėl puikių visapusiškų savybių silicio karbido medžiagos palaipsniui tampa pagrindine pažangiausių ėsdinimo procesų pasirinkimu. Kaip patikimas puslaidininkinių fokusavimo žiedų tiekėjas Kinijoje, „Semicorex“ siūlo aukštos kokybėssilicio karbido fokusavimo žiedaiįvairių dydžių, kad atitiktų skirtingus ėsdinimo įrangos reikalavimus. „Semicorex“ bet kuriuo metu laukia jūsų užklausų ir pirkinių.