Didelio grynumo lydyto kvarco tiglis, skirtas vieno kristalo traukimui

Šiuo metu monokristalinis silicis gaminamas naudojant polikristalinį silicį kaip žaliavą ir Czochralskio metodą. Gaminant monokristalinį silicį,kvarcastiglis yra labai svarbi medžiaga lydant silicį ir kristalų augimą, ir ji turi tiesioginės ir reikšmingos įtakos monokristalinio silicio gamybos sąnaudoms ir produkto kokybei.

Thekvarcinis tiglisyra pagrindinis Czochralski monokristalinės krosnies komponentas. Vieno kristalo paruošimo stadija nustato tokius techninius parametrus kaip skersmuo, kristalų orientacija, legiravimo laidumo tipas, varžos diapazonas ir pasiskirstymas, deguonies ir anglies koncentracija, mažumos nešiklio tarnavimo laikas ir silicio medžiagos grotelių defektai. Mikrodefektai, deguonies koncentracija, metalo priemaišos ir nešiklio koncentracijos vienodumas turi būti kontroliuojami tam tikru diapazonu. Czochralski vieno kristalo procese kvarcinis tiglis turi atlaikyti aukštą temperatūrą, viršijančią silicio lydymosi temperatūrą (1420 °C). Kvarciniai tigliai dažniausiai yra pusiau skaidrūs ir sudaryti iš kelių sluoksnių. Išorinis sluoksnis yra didelio burbulų tankio sritis, vadinama sudėtiniu burbulų sluoksniu; vidinis sluoksnis yra 3-5 mm skaidrus sluoksnis, vadinamas sluoksniu, kuriame nėra burbulų. Dėl sluoksnio, kuriame nėra burbuliukų, sumažėja tiglio tankis toje vietoje, kuri liečiasi su tirpalu, todėl pagerėja vieno kristalo augimas.

Kokybės požiūriu vidinis kvarcinio tiglio sluoksnis dėl tiesioginio kontakto su išlydytu siliciu kristalų traukimo proceso metu nuolat tirpsta į išlydytą silicį.  Skaidriame tiglio sluoksnyje esantys mikro burbuliukai nuolat auga ir plyšta, išskirdami kvarco daleles ir mikro burbuliukus į išlydytą silicį. Šios priemaišos, mikro dalelių ir mikro burbuliukų pavidalu, per visą silicio lydalą pernešamos silicio skysčio srautu, tiesiogiai paveikdamos silicio kristalizaciją ir monokristalo kokybę.

Žvelgiant iš išlaidų perspektyvos,kvarciniai tigliaituri stiprias vartojimo charakteristikas monokristalinio silicio pramonės grandinėje, o nuolatinio Czochralski metodo naudojimas taip pat kelia didesnius reikalavimus kvarcinio tiglio eksploatavimo trukmei. Didelis kvarcinio tiglio grynumas ir atsparumas aukštai temperatūrai užtikrina vieno kristalo traukimą ir vieno kristalo kokybę. Remiantis monokristalinių silicio plokštelių grynumo reikalavimais, kvarcinis tiglis išmetamas po vieno ar kelių kaitinimo ir kristalų traukimo ciklų ir turi būti reguliariai keičiamas, todėl jį reikia naudoti.

Be to, jeikvarcinis tigliskristalų traukimo proceso metu turi kokybės problemų, dėl to visas vieno kristalo silicio strypas bus išmestas į metalo laužą. Kvarciniai tigliai pirmiausia gaminami naudojant elektros lanko metodą, o pagrindinė žaliava yra labai grynas kvarcinis smėlis. Kvarcinio smėlio grynumas yra esminis veiksnys, turintis įtakos kvarcinio tiglio kokybei. Kvarcinis tiglis turi dviejų sluoksnių struktūrą: išorinis sluoksnis yra didelio tankio sritis, vadinama burbuliniu kompoziciniu sluoksniu; vidinis sluoksnis yra 3-5 mm skaidrus sluoksnis, vadinamas sluoksniu, kuriame nėra burbulų.

Vidinio sluoksnio, sluoksnio, kuriame nėra burbulų, buvimas sumažina burbuliukų tankį toje vietoje, kur tiglis liečiasi su tirpalu. Kuo mažesnis kvarcinio smėlio grynumas, tuo didesnė tikimybė, kad lydymosi aukštoje temperatūroje metu susidarys juodos dėmės ir burbuliukai. Naudojant kaip vidinį smėlio sluoksnį, ilgai veikiant aukštai temperatūrai, išsiskiria burbuliukai, esantys vidinėje kvarcinio tiglio sienelėje, todėl paveikiamas vieno kristalo silicio plokštelių gamybos stabilumas ir sėkmės rodiklis. Todėl vidiniam smėlio sluoksniui reikalingas didesnio grynumo kvarcinis smėlis, todėl kaina yra didesnė. Be to, tigliams naudojamam kvarciniam smėliui taikomi specifiniai skirtingų priemaišų lygių reikalavimai. Pavyzdžiui, per didelis šarminių metalų priemaišų kiekis gali sukelti tiglio kristalizaciją, dėl kurios gali atsirasti neskaidrumas ir deformacija, o per didelis hidroksilo kiekis gali sukelti tiglio pūsles.

Semicorex pasiūlymaididelio grynumo lydyto kvarco tiglis, skirtas silicio vieno kristalo traukimui. Jei turite klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Telefonas pasiteirauti # +86-13567891907

paštas: sales@semicorex.com