CVD krosnies aptarimas

Kas yra aCVD krosnis?

CVD (Chemical Vapor Deposition) krosnis yra krosnių tipas, naudojamas puslaidininkių pramonėje plonoms įvairių medžiagų plėvelėms nusodinti ant pagrindo. Procesas vykdomas vakuume arba žemo slėgio aplinkoje, naudojant reaktyviąsias dujas, kurios reaguoja su substrato medžiaga, kad susidarytų norima plona plėvelė. CVD krosnis yra labai svarbus mikroschemų, saulės elementų ir kitų elektroninių prietaisų gamybos įrankis.

Kaip veikia CVD krosnis?

CVD krosnisveikia sukurdamas žemo slėgio aplinką kameros viduje ir į kamerą įvesdamas reaktyviąsias dujas. Dujos reaguoja su pagrindo medžiaga ir ant pagrindo paviršiaus sudaro ploną plėvelę. Procesas atliekamas aukštoje temperatūroje, paprastai nuo 500°C iki 1200°C, priklausomai nuo nusodinamos medžiagos tipo.

Pagrindo medžiaga dedama į krosnies kamerą, o kamera uždaroma. Tada reaktyviosios dujos įleidžiamos į kamerą ir kaitinamos iki aukštos temperatūros. Dujų molekulės reaguoja su substrato medžiaga, o susidaręs produktas ant substrato paviršiaus suformuoja ploną plėvelę.

Kokios yra CVD krosnies taikymo sritys?

CVD krosnisturi platų pritaikymo spektrą puslaidininkių pramonėje, įskaitant:

1. Silicio dioksido, silicio nitrido ir kitų dielektrinių medžiagų, naudojamų mikroschemų gamyboje, nusodinimas.

2. Polisilicio ir kitų laidžių medžiagų, naudojamų mikroschemų gamyboje, nusodinimas.

3.Metalinių plėvelių, tokių kaip aliuminis ir varis, nusodinimas, naudojamas skirtingų mikroschemos sluoksnių sujungimui.

4. Plonų plėvelių nusodinimas saulės elementų gamybai.

5. Dangų nusodinimas dilimui atsparių dalių ir įrankių gamybai.

Apibendrinant,CVD krosnisyra labai svarbus puslaidininkių pramonės įrankis, leidžiantis gaminti mikroschemas, saulės elementus ir kitus elektroninius prietaisus. Jis veikia sukurdamas žemo slėgio aplinką kameros viduje ir įvedamas reaktyvias dujas, kurios reaguoja su pagrindo medžiaga ir sudaro ploną plėvelę. Jo pritaikymas yra platus ir įvairus, todėl jis yra labai svarbus šiuolaikinių technologijų įrankis.