Pagrindiniai puslaidininkių gamybos keraminiai komponentai

Puslaidininkių įrangą sudaro kameros ir kameros, o dauguma keramikos yra naudojamos kamerose arčiau vaflių. Keraminės dalys, svarbūs komponentai, plačiai naudojami pagrindinės įrangos ertmėse, yra puslaidininkių įrangos komponentai, gaminami tiksliai apdorojant, naudojant pažangias keramines medžiagas, tokias kaip aliuminio oksido keramika, aliuminio nitrido keramika ir silicio karbido keramika. Išplėstinės keraminės medžiagos pasižymi puikiu stiprumo, tikslumo, elektros savybių ir atsparumo korozijai našumui ir gali atitikti sudėtingus puslaidininkių gamybos reikalavimus specialioje aplinkoje, tokioje kaip vakuumas ir aukšta temperatūra. Pažangios puslaidininkinės įrangos keraminės medžiagos komponentai daugiausia naudojami kamerose, o kai kurie iš jų tiesiogiai liečiasi su vafliu. Jie yra pagrindiniai tikslumo komponentai integruotos grandinės gamybos srityje ir gali būti suskirstyti į penkias kategorijas: žiedinius cilindrus, oro srauto kreipiklius, apkrovos ir fiksuotų tipų, griebtuvo tarpiklius ir modulius. Šiame straipsnyje daugiausia kalbama apie pirmąją kategoriją: žiediniai cilindrai.

Žiedai ir cilindrai

1. „Moiré“ žiedai: daugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje. Įsikūrę proceso kameroje, jie tiesiogiai kontaktuoja su vafliu, padidindami dujų nurodymus, izoliaciją ir atsparumą korozijai.

2. Apsauginiai žiedai: daugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje ir eurkoje. Įsikūrę proceso kameroje, jie apsaugo raktų modulio komponentus, tokius kaip elektrostatinis chuck ir keraminis šildytuvas.

3. Briaunų žiedai: daugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje ir eurkoje. Įsikūrę proceso kameroje, jie stabilizuojasi ir neleidžia plazmoje pabėgti.

4. Fokusavimo žiedai: daugiausia naudojama plonos plėvelės nusodinimo įrangoje, orintru ir jonų implantacijos įrangoje. Įsikūrę proceso kameroje, jie yra mažiau nei 20 mm nuo vaflio, sutelkdami plazmą kameroje.

5. Apsauginiai dangteliai: daugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje ir eurkoje. Įsikūrę proceso kameroje, jie užklijuoja ir sugeria proceso likučius.

6. Žiedavimo žiedai: daugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje ir eurkoje. Įsikūrę už kameros, jie saugo ir palaiko komponentus.

7. Lineris: pirmiausia naudojamas ėstininkuose, esančiuose proceso kameroje, jis padidina dujų nurodymus ir užtikrina tolygesnį plėvelės formavimąsi.

8. Izoliacijos cilindras: Pirmiausia naudojamas plonos plėvelės nusodinimo įrangoje, ėsdinikuose ir jonų implantuose, jis yra proceso kameroje ir pagerina įrangos temperatūros kontrolės efektyvumą.

9. Termoelementų apsaugos vamzdis: pirmiausia naudojamas įvairiose puslaidininkių priekinės dalies įrangoje, jis yra už kameros ribų ir apsaugo termoelementus santykinai stabilioje temperatūroje ir cheminėje aplinkoje.

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėskeramikos produktaipuslaidininkyje. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com